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用于洁净度验证的系统解决方案
残余气体分析系统（RGA）利用质谱法来分析真空环境中的气体成分，并检测任何潜在的污染物， 从而确保最佳的产品质量与工艺安全。
残余气体分析系统（RGA）应用于诸如真空炉或真空涂层等领域。我们的产品组合包括交钥匙工程和紧凑型解决方案。
HiCube Neo RGA 可在从大气压到高真空的压力范围内运行。它配备了集成截止阀，用于精确调节进气压力。为了提供额外保护，该系统配备了 DigiLine 全量程变送器，该变送器通过持续监测总压力来保护质谱仪。如果压力超过安全水平，变送器会自动关闭质谱仪灯丝，防止损坏。该机制既能防止操作失误，并消除了更换昂贵灯丝的需求，从而节省了长期维护成本。
HiCube Neo RGA 提供数字/模拟输入和输出接口，可采集压力、气体流量等外部数据， 然后可将这些数据传送至外部控制装置，实现全面的工艺监控。
集成式 HiCube Neo 可通过其触摸屏进行直观操作，除显示测量值外，还能显示真空计等外接组件的信号。这使您能够完全控制分析过程。PV MassSpec 软件还可轻松快速地访问您的数据。
HiCube Neo RGA 可根据您的特定工艺进行定制。例如，真空腔体（即生成真空的腔体）可配备加热器。这可以蒸发可能吸附在腔体壁上的残余气体。在运行过程中，这些残余气体会被逐渐释放并干扰测量，从而产生不需要的背景信号。通过加热腔体，这些残余气体被解吸并抽真空，从而减少污染，并提高了分析的准确性。该系统还可配备额外的手动进气阀，以提高样品处理的灵活性。此外，当安装在推车上时，HiCube Neo RGA 就成为了一个移动解决方案，便于运输和在不同位置使用。
四极杆质谱仪（PrismaPro 或 HiQuad Neo）的选择和腔体数量会显著影响可实现的检测限。在标准系统中有两个腔体，一个用于放置测试样本，另一个用于放置质谱仪。如有必要，此结构可增设第三个腔体，即锁止腔体。这样可以避免测量腔体受到环境的污染，并显著降低本底信号。通过对系统进行烘烤，可使其达到最佳状态，从而进一步提高测量能力。
在定制化系统领域，除了残余气体分析系统之外，我们还有更多产品可供选择。我们凭借多年来在半导体、制药、冶金等行业及新兴市场积累的丰富经验，开发出最先进的系统，帮助您在行业中脱颖而出。例如，我们开发了污染管理系统，旨在识别和最大限度地减少污染物，并优化各生产环节。通过提高质量和缩短周期时间来实现更高的产量。
除了独立装置外，我们还提供模块化解决方案，您可以将其集成到系统中。其中包括我们的泄漏测试模块（简称 LTM），您可以将其集成到您的生产线中进行批量生产。对于预批量生产，它还可以作为手动验证的独立测试台使用。客户特定的可配置模块可涵盖全系列测试方法和参数，并由我们部分组装。凭借我们在机械和软件集成方面的丰富经验，我们能够为客户实施解决方案提供全方位支持。
