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全球

真空计

真空应用中可靠的总压管理

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对于每种应用,都可以根据所需的精度、压力范围和物理测量原理选择合适的真空计。我们的真空计配备了优化的配件,并通过首选接口确保顺畅的通信。

产品系列

  • digiline_hpt_1

    DigiLine

    具有数字信号输出的仪表

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  • activeline_pbr_360

    ActiveLine

    具有模拟信号输出的仪表

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  • modulline_1

    ModulLine

    在电离辐射区域内的总压测量

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  • centerline_itr_90

    CenterLine

    配备先进控制器和自动检测功能的真空计

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  • tpg_202_neo

    手持式测量仪表

    由电池驱动的设备,可独立于电网使用

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  • customer_specific_gauges

    定制化解决方案

    满足客户独特需求的真空计

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  • omnicontrol_200_with_pkr

    测量套件

    包含操作真空计所需一切的完整套件

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DigiLine

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具有数字信号输出的仪表

DigiLine 变送器专为需要易于安装和可靠的总压力测量的工业和研究应用而设计。这些真空计使用压阻、皮拉尼、电容、热阴极和冷阴极传感器,可覆盖广泛的真空范围。每个变送器都具有一个 RS-485 接口,最多可将 16 个测量点连接至控制器。

连接选项包括 Profibus-DP、Profinet 和 EtherCAT 接口,或具有两个切换点的额外模拟输出以及一个 LCD 显示屏。

  • 与 PC 或 PLC 进行失效保护通信
  • M12 连接器和 IP54 防护等级,确保在恶劣环境中可靠运行
  • 现代接口(工业以太网和现场总线)

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ActiveLine

activeline_pbr_360

具有模拟信号输出的仪表

ActiveLine 产品系列包括多种具有不同测量原理和经典模拟输出的真空计。这些真空计涵盖从超高真空到正压的广泛真空范围。变送器与压力成正比的输出电压可通过三个控制装置显示为压力值,或通过模拟输入读入控制系统以进行进一步处理。

  • 设计紧凑,节省安装空间
  • 控制器带有自动变送器识别功能,可防止安装失误
  • 采用带有 Hirschmann 插头的统一标准电缆,所有变送器均可轻松布线

ActiveLine 设备在 CenterLine 系列名称下也提供不同的插头。CenterLine 设备与其他制造商的有源变送器兼容。

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ModulLine

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用于电离辐射区域的总压测量真空计

ModuLine 产品系列不含任何电子部件,因此适用于高辐射环境。

该产品系列包括三个测量范围为 1000 至 8 · 10-4 hPa 的 Pirani TPR 真空计,3 个测量范围为 5 · 10-3 至 1 · 10-11 hPa 的 IKR 冷阴极真空计和两个测量范围为 1 · 10 -2 至 2 · 10-12 hPa 的 IMR 热阴极真空计。

  • 经久耐用
  • 适用于具有挑战性的应用
  • 传感器和电子部件可以单独放置

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CenterLine

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真空计采用现代调节器工艺

CenterLine 产品系列提供具有不同测量原理和模拟输出的全系列真空计。这些真空计可在从高真空到大气压力的测量范围内可靠运行。最多可将三个真空计与高级控制器配对,通过 USB 接口(用于导出数据)或以太网接口(用于网络通信)方便地搬运数据。调节器配有 LCD 显示屏,便于读取测量值。

CenterLine 真空计与其他制造商的有源真空计兼容,可轻松更换或补充当前装备。

  • 真空计由调节器自动检测,便于安装
  • 可使用 15 D-sub、RJ45 和 FCC 68 等标准连接器连接设备
  • CNR 产品系列提供耐腐蚀性隔膜传感器和自加热技术规格,可在涉及腐蚀性或热气体(如镀膜)的应用中实现更高准确性

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手持式测量设备

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由电池驱动的设备,可独立于电网使用

我们提供两款带显示屏、电池驱动的手持式测量仪表。TPG 201 基于热传导原理(Pirani)工作,而 TPG 202 Neo 还配备了一个压阻式压力传感器,适用于更高的压力范围。

根据型号的不同,这些手持式测量仪表的压力测量范围从 1,200 hPa 至 5 · 10-5 hPa 的范围内实现非常精确的压力测量。TPG 202 Neo 具有紧凑型结构、坚固的硅酮保护盖和大容量内部存储器,无需特殊软件即可进行数据记录。

在对真空室进行排气时,机械压力表尤其有用。它们以 -1 至 0.6 bar 的刻度显示相对于环境压力的压力值,可进行烘烤处理,适用于超高真空(UHV)环境,且无需电源供应。

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定制化解决方案

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满足客户独特需求的真空计

为了满足客户的需求,我们提供了一些不属于标准系列的真空计。其中包括 CLR 39x 型 CLR 压力表,专为蒸汽灭菌冷冻干燥机而设计。

这些温控电容式真空计的传感器被加热到恒定的 160 °C,能够在 10 hPa 至 1 · 10-3 hPa 的范围内实现非常精确的压力测量。这些真空计通过 PLC 进行控制,并可选配易于灭菌的 TriClamp 法兰。

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测量套件

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完整的测量设备由变送器、控制装置和电缆组成。电缆有多种标准长度可供选择,并适用于不同的温度范围。您可以在所选产品以及配件中找到适合真空计的电缆。

我们为最常见的产品提供颇具吸引力的套件,但也可以进行个性化配置,尤其是当您计划在未来对系统进行扩展时。如果您不确定哪种测量解决方案适合您,请联系您的销售代表,我们将协助您选择合适的产品。

ActiveLine 套件 DigiLine 套件

测量方法

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是选择与气体无关的直接测量,还是选择与气体相关的间接测量呢?

当监测压力范围较小的工艺条件时,可以根据压力范围从以下概述的测量原理中进行选择。

有些间接测量方法是通过气体特性来确定压力的, 它们自然会提供取决于气体类型的测量结果。而直接测量方法则与气体类型无关。

相应的精度和可重复性也已列出。根据所需的精度,测量设备的精度要求和成本也会有所不同。

与气体类型相关的测量

Pirani

  • 测量原理:气体的热导率
  • 压力范围:粗真空至高真空(1 · 103 至 1 · 10-4 hPa)
  • 精度要求:低至中等

冷阴极

  • 测量原理:冷阴极的电子发射
  • 设计:Penning,倒置磁控管
  • 压力范围:高真空至超高真空(1 · 10-2 至 1 · 10-11 hPa)
  • 精度要求:中等

热阴极

  • 测量原理:热阴极的电子发射
  • 设计:Bayard-Alpert,抽气系统
  • 压力范围:超高真空到极高真空(1 · 10-2 至 1 · 10-12 hPa)
  • 精度要求:高

与气体类型无关的测量

电容式

  • 测量原理:电极之间电容的变化
  • 压力范围:中真空至高真空(1 · 103 至 1 · 10-5 hPa)
  • 精度要求:高

压阻式

  • 测量原理:应变计电阻随压力的变化
  • 压力范围:粗真空至中真空(1 · 103 至 1 · 10-1 hPa)
  • 精度要求:中等

清洁和校准

确保获得可靠的测量值

一些真空计比其他真空计更容易受到污染,这主要取决于它们所使用的工艺。适当的清洁可以延长它们的使用寿命。

测量设备必须定期使用标准件进行校准,因为工艺的质量取决于测量值的保持精度。这是 ISO 9001 质量管理体系标准的要求。为了满足这一要求,我们提供校准服务,如果您希望自己进行校准,我们还提供校准真空泵单元。
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常见问题解答

如何选择合适的真空计?

每种真空计都基于不同的物理原理,并且相较于其他应用,更适用于某些特定的应用。真空计的压力测量范围取决于所使用的测量原理以及测量设备的设计和结构。

选择真空计的标准取决于以下因素:

  • 测量范围
  • 所需精度
  • 气体成分(惰性或腐蚀性)
  • 环境条件,如电离辐射或强磁场
  • 接口类型(模拟或数字信号)

除了实际的测量设备外,还有一些能简化操作的配件,例如显示、评估和记录设备。真空计只能测定总压,而质谱仪则用于测定分压。

如何在真空系统中使用真空计?

对于较大的范围,可能需要将几种具有相同和/或不同测量原理的真空计组合使用。这可以通过将多个单独的真空计集成到一个系统中或使用组合式真空计

来实现。根据具体要求和组合方式,可以在相应的压力范围内确定所需的精度,以便控制从腔体抽真空到随后充入气体的整个过程。可供选择的组合方式如下:

  • Piezo/Pirani
  • Pirani/电容式
  • Pirani/热阴极
  • Pirani/冷阴极

可选法兰类型
最常用的法兰规格为 ISO-KF(标准)和 CF 法兰。部分真空计还配备易于灭菌的 TriClamp 法兰、VCR 接头或螺纹接口。对于涉及高温的应用,我们提供加长法兰型真空计,以增加与热源之间的距离。

如何评估您的真空计?

真空计能够检测压力变化,并将这些变化转换为可供用户解读的电信号。真空计可以产生两种类型的信号:模拟信号和数字信号。信号类型和接口的选择取决于具体的应用要求,例如对实时数据交换的需求、多个测量设备的集成以及用户友好性的重要程度等。

还应考虑所需的硬件和软件,以及接口的复杂程度和维护工作量。

DigiLine 和 ActiveLine 这两个标准产品系列均为有源真空计,即电子部件与实际测量设备集成在一起。