确保您的尾气处理系统的长期高效与可靠运行是我们的首要任务。
从安装调试到维护升级，再到系统检查，我们的专家团队提供定制化支持，确保您的设备始终处于最佳运行状态。
我们还提供运行成本分析、傅里叶变换红外光谱（FTIR）气体测量、备件供应以及处置服务，确保您的系统安全合规且具有成本效益。
创新解决方案，为清洁环境赋能
作为工业现场尾气处理领域的技术先锋，我们通过端到端的解决方案，助力创造更清洁的未来。我们的尾气处理系统能够有效减少包括 CF4、SF6 和 NF3 等具有极高全球变暖潜能的持久性全氟化碳（PFC）气体在内的有害排放物。我们的尾气处理系统通过在有害气体的使用地点高效地将其分解，从而助力打造更环保的环境。
我们专注于为客户提供排放管理方案，根据您的具体需求，采用污染物燃烧、洗涤净化或吸附分离等成熟工艺。
我们专注于为客户提供排放管理方案，根据您的具体需求，采用污染物燃烧、洗涤净化或吸附分离等成熟工艺。
尾气处理系统类型
热气体处理
我们提供多种热气体处理系统，将反应室内有害气体的高温燃烧工艺与先进湿式洗涤工艺相结合，实现尾气和污染物的高效清除。这些系统能够有效分解有害气体和全氟化碳（PFC），并将对环境的影响降至极低。
凭借经过验证的可持续处理技术，这些系统能够确保符合严格的排放法规要求，非常适合半导体、化工等需要可靠尾气处理的行业以及研发领域。
湿气体处理
我们的湿气体处理系统（又称湿法洗涤器）可有效去除工业尾气中的污染物、颗粒物和可溶性气体。这些处理系统通过液体吸收和化学反应，确保对酸性气体、挥发性有机化合物（VOC）以及粉尘的高效去除。
由于其能耗较低，湿气体处理是一种可靠且用途广泛的解决方案，既能满足严苛的环境法规要求，又能保持运行效率。
干式床吸附塔
Pfeiffer 普发创新的干式床处理技术利用特殊颗粒，通过化学吸附作用安全去除有毒和腐蚀性气体。这会将气体转化为稳定的非挥发性固体。这些化学物质被永久吸附在颗粒上，可依据当地法规进行安全处置。
该技术无需燃料气体或水，且不产生液体废弃物， 为工业气体处理（尤其是半导体行业和研发领域）提供了一种介质需求超低的高效解决方案。
过滤系统
我们的干式微粒过滤器能够将细微粉尘的排放量降至超低水平。该系统可与我们的热气体处理装置配合使用，实现行业领先的颗粒物去除效率。
由于过滤器在使用源头（即排气通道前）捕集粉尘，大幅减少了下游排放系统的人工清洁需求， 从而有效降低设施运行成本。
应用
Pfeiffer 普发尾气处理系统对于维持清洁安全的生产环境至关重要，特别适用于半导体行业。从蚀刻、化学气相沉积（CVD）、晶体外延生长、原子层沉积（ALD）、离子注入、薄膜沉积到极紫外（EUV）光刻等环节，我们的先进技术可确保在使用点可靠地去除危险工艺气体，提供热气体处理、湿气体处理、干式床处理、过滤系统或组合式处理方案。每个行业都有其独特的要求和安全标准。如需获取适合您需求的尾气处理解决方案，请与我们的专家联系。
专为您的工艺而设计：定制化尾气处理解决方案
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 提供全面的尾气处理产品组合，为各类工业设施打造最优的尾气处理方案。
我们自主开发的模块系统能够根据您的具体需求提供个性化定制服务。
我们自主开发的模块系统能够根据您的具体需求提供个性化定制服务。
常见问题解答
什么是尾气处理系统？其工作原理是什么？
尾气处理系统是一种专门用于消除半导体制造、工业气体处理等生产工艺中产生的有害污染物和温室气体的设备。废气净化对于确保这些气体安全排放到大气中至关重要，有效避免对人类、动物和环境造成危害。由于各种废气的特性各异，因此需要采用针对性的处理技术。这些技术包括热氧化、湿法处理、干床式处理、颗粒过滤以及组合式处理方案。
热湿式处理：结合热力与湿法处理技术，可以有效处理多种工业废气。该系统先通过热氧化作用改变有害工艺气体的化学结构，随后在湿法处理阶段溶解水溶性气体及其反应副产物。
湿式洗涤：该工艺通过吸收和转化机制，将废气中的水溶性有害污染物转移到液相中，从而实现废气的净化。
干床式吸收器：一种尾气处理系统 ，通过固体吸附床层去除废气中的有害物质，利用化学或物理吸附作用实现净化。该方法能高效处理有害工艺气体，确保排放安全且符合环保要求。吸附剂饱和可更换或再生，确保系统持续稳定运行。
过滤系统：微粒过滤器配备干式滤芯，有效减少细微粉尘排放。这样可以高效清洁含微粒的排气气流，适用于半导体制造等易产生颗粒的工艺过程。如果需要，可将微粒过滤器安装在热尾气处理装置的下游。
Pfeiffer 普发尾气处理技术有哪些优势？
Pfeiffer 普发尾气处理系统具有高效、灵活和经济的特点，是半导体制造及其他高要求行业的理想选择。其主要优势包括：
- 耐用性：采用优质材料制造，确保系统持久稳定运行，同时降低运营和售后成本。
- 灵活性：涵盖所有主流尾气处理技术，可根据具体应用需求灵活选择系统配置。
- 模块化：通过多种处理技术的组合，提供定制化解决方案。
- 安全性：内置标准气体传感器、紧急氮气稀释系统、旁通阀以及备用方案等多重安全保护装置，确保紧急情况下的高效安全性。
如何为我的应用选择合适的尾气处理系统？
尾气类型
不同的尾气处理系统专为处理特定类型的气体而设计。对于半导体、化工行业以及研发等类似领域中最常见的气体，建议采用下图所示的尾气处理技术。
特定工艺运行方式
您的工艺运行方式会影响特定尾气处理技术的适用性。适用于连续生产工艺的工艺技术，在研发等非连续性作业场景中可能并非最具成本效益。对于半连续生产工艺或间歇性运行情况，需选用另一类优化技术方案。我们的专家很乐意为您提供专业支持，帮您确定与具体应用相匹配的技术。
特定的设施要求
工厂基础设施同样会影响理想技术的选择。不同尾气处理技术对安装空间有不同要求，必须考虑尾气处理系统的可用安装空间。此外，电力、氮气等可用介质的供应情况，以及氧气、燃气和流体等技术特定需求也是重要考量因素。
如需选择合适的尾气处理系统，请与我们的专家联系。
尾气处理系统如何助力环境保护？
我们致力于通过先进的尾气处理技术，最大限度地减少尾气排放对环境的影响。我们的尾气处理系统能够有效减少包括 CF4、SF6 和 NF3 等具有极高全球变暖潜能的持久性全氟化碳（PFC）气体在内的有害排放物。我们的尾气处理系统通过在这些气体的使用地点进行高效净化，助力气候保护并降低工业排放。
我们的尾气处理方案符合所有重要的安全标准，满足严格空气质量法规要求，包括德国 TA-Luft 标准。此外，我们通过 ISO 14001 和 ISO 9001 认证，彰显了我们对工业可持续发展和高质量生产的承诺。
我们结合尖端技术与可持续发展理念，提供既能提升运营效率又能改善环境足迹的解决方案。
Pfeiffer 普发是否提供定制化尾气处理解决方案？
每套工业装置都具有独特需求，因此 Pfeiffer 尾气处理系统采用模块化设计，可根据您的具体尾气处理要求进行定制。我们与客户紧密合作，针对您的工艺流程和应用需求，开发高效、经济且可持续的解决方案。
作为全方位服务供应商，我们提供从初期咨询到系统调试的全程项目规划，并通过完善的售后服务体系持续为您提供支持，确保您的系统始终处于良好运行状态。
定制化尾气处理解决方案
Pfeiffer 普发何以成为尾气处理创新领域的领导者？
创新是 Pfeiffer 普发所有尾气处理系统的成功之道。作为全球尾气处理技术的领导者和一站式解决方案供应商，我们为半导体制造等行业提供先进、高效的尾气处理方案，推动更清洁、更可持续的工业生产标准。
我们拥有自主研发实验室，致力于开发尖端环保技术。同时，我们积极与高校及科研机构合作，通过安全合规的尾气处理方案，助力新型制造工艺的研发。