使用四极杆质谱仪进行气体和残余气体分析

谱法是一种广泛使用的分析方法,用于观察物质的化学成分。我们的(残余)气体分析设备均具有相同的核心:四极杆质谱仪 (QMS)。

适用于各种应用

四极杆质谱仪 (QMS) 有多种配置和不同的外围设备,可以根据要求专门选择以适应应用领域。

基本上,分压是用质谱仪(也简称为RGA)测定的,而真空测量管则用于测量总压。只能测量气体 - 包括分析先前已蒸发的固体或液体物质。

设备选择的重要决策标准是:

  • 压力范围和相关设计

  • 分析性能(包括待检测质量、分辨率、检测限、测量速度)

收到设备后快速入门的视频。

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压力范围对设计的影响

通过将待检查的气体抽出,在真空室中将其降至低压,并通过电子碰撞进行电离。以这种方式产生的离子在滤质器中根据质荷比进行分离。高真空是这些工艺的强制性要求。因此,要分析气体的压力范围通常也决定了设计。

在实践中,选择不同的组件来完成不同类型的测量任务。从现成的完整解决方案(例如OmniStar)到实际的单个设备(称为PrismaPro的紧凑型四极杆质谱仪),每种应用都有合适的解决方案。

需要帮助进行选择吗?

我们很乐意为您提供建议,告诉您哪些设备可用于您的个人分析任务。

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完整的解决方案

ThermoStar / OmniStar

单台设备

PrismaPro

分析性能

没有一种通用质谱仪能够涵盖所有可能的应用。无论压力如何,初始条件和分析目标都会有所不同。因此,在选择设备之前,有必要明确要解决的分析任务并定义您想要使用设备实现的目标。需要考虑的要求主要包括以下标准。

  • 测量速度

  • 分辨率

  • 待检测质量

  • 检测限

让我们看看各个组件对分析性能的影响。一般规则也适用于质谱分析:精度与价格成正比。在某些用例中,需要考虑一些需要采取特定措施或特别注意的关键因素。

测量速度

测量速度也可以根据分析任务进行调整,例如使用PrismaPro从最小 1毫秒到最长 16 秒。测量速度影响噪声量(信号和背景)。

分辨率

分辨率可以根据应用领域进行调整,主要通过软件进行。它影响分离和信号高度。所谓的标准分辨率很常见。

待检测质量

必须为应用领域找到哪些质量?应选择最小的合适质量范围。较小的质量范围可确保更好的灵敏度(信号)。

检测限

检测限受灵敏度和峰重叠的影响。灵敏度还取决于所使用的检测器(法拉第与法拉第/SEM)的不同。

标准详情

我们用户友好的 PV Mass-Spec 软件可用于单独的数据采集和评估

软件和接口(以太网)

Mass Spec软件易于使用,在您购买设备时提供,并且还可以在线获取更新。

我们的质谱仪还提供某些接口来直接与 PLC 通信。

探测器

根据工作压力,使用不同的检测器:

对于法拉第探测器 (F),工作压力不需要像组合法拉第/C-SEM 探测器 (M) 那样低。然而,这对检测限有直接影响。确切的数字取决于停留时间和使用的离子源,这些可以在我们的手册中找到。

法拉第杯

可配置的 RGA 系统

每个测试任务都是不同的。除了标准的OmniStar / ThermoStar解决方案之外,我们的专家团队还可以使用全系列的普发真空产品,并使用它们来配置最适合您要求的系统。一个例子是我们称为OmniGrade的 RGA 清洁度验证系统。

RGA 系统 OmniGrade

不仅选择四极杆质谱仪、真空泵、腔室和其他单个组件等单个组件,而且还考虑了定制交钥匙解决方案的总运营成本和交付时间。

硬件连接

以下硬件连接可用于集成我们的设备:PrismaPro配备 DN 40 CF 法兰、HiQuad Neo配有 DN 63 CF, OmniStar和ThermoStar均配有毛细管或合适的适配器1/4" / DN 16 ISO-KF,以满足各种应用的要求。

모세관 호스 어댑터

支持与服务

我们拥有针对不同应用领域的专家。他们可以为您提供选择正确设备的建议,帮助您解决有关测量配方的任何问题,或帮助您解决其他问题。除了支持之外,我们还为设备提供服务。你想谈谈这个吗?我们很高兴为您服务。

Service man working with a mass spectrometer

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