真空产品目录

采用混合或磁性轴承系统的涡轮分子真空泵

根据客户需求量身定制的模块化涡轮泵

配备 5 轴磁性轴承系统的涡轮分子真空泵

可靠而灵活的罗茨泵

紧凑型干式隔膜泵

灵活可靠的多级罗茨真空泵

紧凑型多级罗茨泵

高能效干式多级罗茨泵

高能效多级罗茨泵

单级油润滑旋片真空泵

双级油润滑旋片真空泵

适用于半导体行业的干式螺杆真空泵

紧凑型气密式密封涡旋真空泵

高效可靠的示踪气体检漏仪

模块化检漏仪，便于集成至工业检漏系统中

紧凑、易操作且高灵敏度的空气泄漏测试解决方案

针对特殊需求定制的泄漏检测

真空应用中可靠的总压管理

用于总压力测量设备的标准化校准系统

配备四极杆质谱仪的气体成分分析设备

用于洁净度验证的模块化 RGA 系统解决方案

标准和定制化制造的真空室

可根据客户需求进行个性化调整

适配每种系统和应用的解决方案

被动式尾气处理系统对设施的要求极低，具备诸多优势

可持续且高效的端到端解决方案

将细微粉尘排放量降至较低水平

配备不同执行器和法兰类型的压力控制阀和隔离阀

提升半导体行业良品率的解决方案

为压铸领域提供可靠高效的解决方案

多泵组合系统 - 提供标准型号或定制型号

以超高性能与耐用性著称

可在高温或低温以及高压或低压环境下稳定运行

即使在严苛环境中，也能实现精确移动和安全操作

专为实现无缝的工艺控制和监控而开发

有助于延长真空泵的使用寿命