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真空腔室

真空腔室是真空系统的核心部件。我们的产品系列涵盖从小型到大型的各类腔室,适用于几乎所有应用。

用于精细真空至超高真空的真空腔室

标准真空腔室

我们的标准真空腔室产品系列为客户提供了快速供货且经济高效的替代方案,无需定制生产。您可以灵活组合各种标准化基体与可自由选择的腔体出口,打造出适合您的应用需求的真空解决方案。

标准真空腔室的设计适用于环境压力高达 1 · 10-7 hPa 的工作条件。
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    质谱仪专用腔体

    专为维持超高真空环境设计,确保电离和离子检测的准确性。

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  • 高真空腔室

    高真空腔室

    工作压力范围为 10-3 至 10-7 mbar,通常配备涡轮分子泵或扩散真空泵。

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  • 中真空腔室

    中真空腔室

    工作压力范围为 10-1 至 10-3 mbar,适用于泄漏检测、包装等多种工业应用。

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  • modular_vacuum_chambers

    模块化真空腔室

    可根据特定实验或工艺需求进行定制,支持尺寸和配置的灵活调整。

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定制真空腔室

定制真空腔室
凭借我们深厚的专业经验,我们可在真空腔室的规格、设计以及工程实施等方面,为您提供详尽而专业的建议。无论您提供的是草图还是完整的设计图纸,我们始终坚持以您的需求为导向,联合工程师、物理学家、技术人员与设计师组成的专业团队,为您量身打造契合应用需求的定制真空腔室。

如有需要,我们还可整合真空泵、测量技术装置、各类组件以及阀门等,构建完整的真空系统。
请求报价

了解 UHV 腔体设计

定制真空腔室
虽然系统设计解决了整体架构问题,但腔体本身仍然是超高频性能的基石。当气体流量分子化时,即颗粒主要与腔体壁相互作用,而不是彼此相互作用时,表面质量、清洁度和材料选择对于实现超高温至关重要。
在我们的常见问题解答部分了解更多信息

常见问题解答

关于超高真空腔体设计需要了解什么 ?

设计精良的超高真空腔体通常包括 :

  • 材料选择:优选奥氏体不锈钢,因为其气体含量低,耐腐蚀性高。
  • 热管理 : 所有材料和组件必须耐受烘烤温度,以减少脱气。不锈钢和铜具有相似的热膨胀,因此非常匹配。铝的使用范围更为有限。
  • 焊接和制造:首选内部焊接,以避免虚拟泄漏。应避免双重焊接,因为它们会捕获气体。设计还应尽量减少盲孔和粗糙表面。
  • 清洁流程 : 最终制备通常包括超声波浴、去离子水冲洗和真空退火,确保最大限度减少污染。
此外,在泄漏测试期间必须控制示踪气体流量 - 使用短气体管道、氦气喷枪和双级式减速器等工具。

真空腔室具备哪些功能,又在哪些领域发挥作用呢?

真空腔室是一种气密式密封容器,其主要功能是隔绝空气及其他各类气体,并通过真空泵将内部抽真空。它为各类应用提供封闭环境,有效隔绝外部干扰。真空室用于粗真空以及中真空、高真空和超高真空应用。 其潜在应用范围十分广泛,涵盖工业、研发、分析、涂层工艺以及半导体技术等诸多领域。

Pfeiffer 普发真空腔室如何满足您的个性化需求?

Pfeiffer 普发真空腔室严格遵循最高质量标准和技术要求。我们致力于为您打造个性化且高效的真空解决方案,确保精准贴合您的需求。

凭借在真空技术多个领域的丰富经验,我们深刻理解不同应用场景对真空产生的特殊要求。这种专业能力在真空腔室的设计中得到了充分体现。对于标准真空腔室,我们提供经济实用、快速供货的解决方案,并可根据您的具体需求进行调整。我们很乐意为您提供选型指导。此外,您可以根据自身需求,将我们的真空腔室与任意类型的真空泵自由组合使用。

Pfeiffer 普发真空腔室具有哪些优势?

凭借高质量的个性化和批量生产的真空腔室,我们能够为您提供完美的真空解决方案。Pfeiffer 普发提供一站式全流程服务,涵盖应用咨询、设计构思、生产制造、质量把控、装配安装及现场服务。

  • 我们所有生产的真空腔室均经过泄漏测试,并可根据需求进行残余气体分析
  • 具备卓越的客户特定技术要求定制化能力,满足多样化应用需求
  • 提供丰富的设备选配方案,精准匹配客户需求
  • 从精细真空到超高真空,为您提供安全可靠的真空解决方案
  • 提供咨询、规划、制造和安装的一站式综合服务

定制真空腔室具有哪些优势?

定制真空腔室可根据您的具体需求,提供最理想的适配方案,确保与您的实际应用场景完美匹配。采用高品质材料制造,设计理念注重极高的耐用性和长期可靠性。此外,定制真空腔室还可配备多种附加部件和配件进行扩展,便于根据需求灵活调整和升级系统。