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隔膜泵

我们的产品 工作原理

为分析、工业和化学应用提供干式解决方案

隔膜泵通过柔性膜片（即隔膜）的上下运动产生真空。此外，该隔膜还可将压缩腔室与电机完全密封，防止泵送介质被齿轮油污染。

凭借其紧凑设计，隔膜泵非常适合集成到检漏仪或质谱仪等小型分析系统中，亦可作为涡轮分子真空泵的前级泵。
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隔膜泵的类型

Pfeiffer 普发隔膜泵可生产无污染的干式真空。它们具有两级、三级或四级泵级。低级数型号提供更高抽速，实现快速抽真空。多级型号通过逐级压缩泵送介质，可达到更低极限压力，进而实现更高的真空度。

此外，部分 Pfeiffer 普发隔膜泵配备直流 (DC) 电机。这些型号的能耗比标准隔膜泵的驱动装置低 80% 以上。

产品
额定抽速
MVP 003
0.25 m3/h
MVP 010
0.6 m3/h
MVP 015 Neo
0.75 - 1 m3/h
MVP 020
1.4 m3/h
MVP 030
1.8 m3/h
MVP 040
2.5 m3/h
MVP 070
4.3 m3/h
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防化学腐蚀的干式解决方案

MVP

应用

隔膜泵适用于多种工业应用，例如：镀膜、真空过滤或真空蒸馏等。其紧凑型结构和干式、无污染压缩等特性使其非常适合作为涡轮分子真空泵的前级泵，或集成到质谱仪等分析系统中。对于需要抽吸腐蚀性气体的应用（例如：镀膜工艺），Pfeiffer 普发还提供配备碳纤维增强特殊隔膜和耐腐蚀泵体的型号。

每个行业和应用都有其独特需求。如需了解最适合您的需求的真空解决方案，请联系我们的专家团队。

您的应用未在列表中？欢迎在我们的产品查找器中探索更多选择！

带隔膜泵的真空泵机组

Pfeiffer 普发还提供将涡轮分子真空泵与隔膜泵结合用作前级泵的真空泵机组。

这些机组配备涡轮分子泵，适用于高真空到超高真空的应用，例如：气体分析。它们配备了用户友好的触摸显示屏，可进行工艺监控以及测量数据记录。

真空泵机组
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常见问题解答

什么是隔膜真空泵？

隔膜泵是一种容积式真空泵，可产生无油和无碳氢化合物的真空。它通过与曲轴相连的联杆带动隔膜上下运动来产生真空。这种清洁的真空产生方式使隔膜泵特别适合用于泄漏检测系统内部等敏感环境，或作为涡轮分子真空泵的前级泵。

隔膜泵的工作原理是什么？

隔膜泵通过柔性隔膜产生真空，实现可靠的无油运行。泵体由一个气缸组成，隔膜在气缸内上下运动， 将压缩腔室与驱动装置隔离， 进气阀和排气阀均为压力控制阀。隔膜通过联杆与曲轴相连， 真空泵运行时，在电机的驱动下，曲轴旋转并带动隔膜往复运动。

以下是其工作原理的分步说明：

1. 进气：

  • 曲轴驱动联杆使隔膜下移，扩大压缩腔室的容积。
  • 容积增大导致压力降低。
  • 气体从高压区域流向低压区域，泵送介质通过进气口进入泵内。

2. 压缩：
  • 曲轴继续运转，推动隔膜向上运动。
  • 这减小了吸入腔体内的容积，压缩了泵送介质。
  • 压缩后的泵送介质通过排气阀被排出。

3. 排气：
  • 泵送介质通过排气阀排出。
  • 随着隔膜不断上下运动，上述循环不断重复。

隔膜真空泵非常适合需要无污染和洁净真空的应用，例如：实验室、分析和化工行业。它们还以隔膜使用寿命长、振动和噪音低、运行安全性高以及维护简单而著称。

无油隔膜泵有哪些优势？

隔膜泵是研发或各种需要洁净真空的工业应用的理想选择。它们具有以下几点优势：

  • 无油运行：隔膜泵运行时无油、无碳氢化合物，也不会产生任何颗粒物， 避免了污染风险，确保产生洁净的真空环境。
  • 耐腐蚀性材料：专为腐蚀性应用设计的隔膜泵配备镀膜和耐腐蚀性腔体。可在物理气相沉积等工艺中有效保护真空泵内组件免受腐蚀性气体的侵蚀
  • 可靠运行：双级隔膜泵配备磁性气镇阀，提高了水蒸气兼容性。这一特性提高了工艺的可靠性和耐用性。
  • 气密式密封设计：真空泵内部的隔膜作为压缩腔室和驱动装置之间的气密式密封件，防止腐蚀性气体腐蚀机械部件。
  • 低振动和噪声级：在洁净室等敏感环境中，隔膜泵不仅运行可靠，而且振动和噪声级较低。噪声级通常低于 50 dB (A)。
  • 易于维护：这些真空泵设计用于轻松更换隔膜和阀门，简化了维护流程并减少了停机时间。
  • 双电压电机：提供配备双电压电机或直流变频器的型号，使其能够在全球范围内使用，适应不同的电气标准，并确保在各种工业环境中的通用性。
这些特性使得隔膜泵在各种应用中都非常高效可靠， 尤其适用于处理腐蚀性气体，确保长久的使用寿命和稳定性能。

隔膜泵在泄漏检测中有何作用？

由于隔膜泵在处理轻质气体（尤其是氦气）方面表现出色，因此在泄漏检测工艺中备受青睐。以下是主要原因：

  • 对轻质气体抽速优异：隔膜泵对氦气等轻质气体具有出色的抽速。
  • 稳定的前级真空压力：它们有助于维持氦气检漏仪技术中使用的涡轮泵所需的前级真空压力，确保检测结果的一致性和可靠性。
  • 支持再生功能：这些真空泵支持检漏仪的再生功能，提高了其检测效率和精度。
  • 低噪音和低振动：Pfeiffer 普发隔膜泵的运行噪音低于 50 db (A)，确保了舒适的工作环境。
  • 降低功耗：隔膜泵效率高，功耗极低。
  • 重量轻、结构紧凑：其轻量化紧凑型结构使隔膜泵非常适合集成到日益小型化的分析系统和涡轮分子真空泵站中，也适用于移动应用。

这些特性使隔膜泵成为泄漏检测领域中不可或缺的工具，为各类应用提供可靠、高效的性能支持。

如何维护隔膜泵？

一般来说，隔膜泵维护需求较低，且具有高运行可靠性。然而，在每台真空泵中，某些组件会受到磨损的影响。在隔膜泵中，隔膜和阀门属于易损件。但隔膜由弹性体材料制成，会随时间老化并产生孔隙。运行过程中的应力也会导致塑料部件磨损和出现孔隙。建议大约每两年更换一次隔膜和阀门组件，以确保真空泵达到最佳性能。

操作员可以轻松地进行更换。无需专用工具，只需使用包含新隔膜和阀门的维修套件即可完成更换。相关套件及更换操作说明均可在我们的服务页面上找到。

Pfeiffer 普发为其隔膜泵提供哪些配件？

Pfeiffer 还为其隔膜泵提供全面的配件。这是因为特定任务往往需要搭配专用零件或组件。我们提供的配件包括专用电源线、通用 OmniControl 操作装置、吹扫气体喷嘴、软管接头以及继电器盒等。