- 维护量少
- 易于系统集成
- 紧凑型结构
- 无油运行
- 得益于电压可切换的电机设计,可在全球范围内使用
MVP
隔膜泵

MVP 隔膜泵可提供无油、无颗粒污染的真空环境。该系列隔膜泵提供双级、三级和四级三种型号选择,覆盖 1-10 hPa 的粗真空范围,满足镀膜和真空蒸馏等应用场景需求。低级数型号提供更高抽速,实现快速抽真空。多级型号通过逐级压缩泵送介质,可达到更低极限压力,进而实现更高的真空度。
此外,得益于紧凑设计,MVP 真空泵非常适合作为涡轮分子真空泵的前级泵。该系列还提供耐腐蚀型号,配备涂层隔膜和耐腐蚀泵体,确保在处理腐蚀性气体(如镀膜工艺)时的安全运行。
MVP

MVP 系列的优势
MVP 隔膜泵完全无油运行。因此,特别适合质谱分析等需要洁净真空环境的应用。真空泵内的隔膜不仅用于生产真空,还充当压缩腔室与电机之间的气密式密封件。这种密封设计可防止潜在腐蚀性的工艺气体侵蚀机械部件,同时避免工作液对被泵送介质造成污染。该隔膜泵的运行噪音低于 50 dB(A),非常适合在实验室等对噪音敏感的环境中使用。
MVP 隔膜泵还可选配直流(DC)驱动装置,支持通过电池或直流电源供电运行。该直流电机配备变速驱动装置, 能够根据所需真空度自动调节转速,从而有效降低能耗。此外,该变速驱动装置还具备自动增压模式:在启动时,可实现快速抽真空或使泵体迅速升温。当运行时间达到五分钟或达到手动设定的真空度时,真空泵将切换至低速运行。
由于该泵仅在必要时才全速运转,因此磨损降至最低,从而有效延长了维护周期。转速的降低有效降低了噪音和振动水平,确保了工作环境的舒适性。
配备直流电机的 MVP 系列机型能够轻松集成到现有的真空系统中。通过 15 针 D-sub 接口,可连接至 HiPace 涡轮分子真空泵、外接电源以及 OmniControl 控制单元, 最终形成一套既能生产高真空环境,又能提供便捷工艺控制的完整真空系统。
该真空泵仅需每两年维护一次,且操作员可轻松在现场更换隔膜和阀门。
MVP 真空泵提供耐腐蚀版本,适用于物理气相沉积等接触腐蚀性气体的应用。这些耐腐蚀版本采用涂层隔膜和乙烯-四氟乙烯共聚物材质的耐腐蚀外壳。