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真空泵

了解我们种类繁多的真空泵产品


从粗真空到超高真空,我们提供多样化、可靠且性能出众的真空泵产品。了解更多关于我们在半导体、工业以及研发等不同应用领域的产品与解决方案。

产品查找器

涡轮分子真空泵

涡轮分子真空泵是一种高速真空泵,需与前级泵配合使用,以实现低至 10-11 hPa (mbar) 的超高真空度。它们无油且能效高。涡轮分子真空泵广泛应用于等离子体刻蚀、表面分析和镀层技术等要求严苛的领域。
  • turbopumps_stage

    采用混合或磁性轴承系统的涡轮分子真空泵

    HiPace
  • turbo_vacuum_pump_splitflow_1

    根据客户需求量身定制的模块化涡轮泵

    SplitFlow
  • ath_m_turbopumps

    配备五轴磁性轴承系统的涡轮分子真空泵

    ATH-M / ATP-M
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涡轮分子真空泵

涡轮分子真空泵是一种高速真空泵,需与前级泵配合使用,以实现低至 10-11 hPa (mbar) 的超高真空度。它们无油且能效高。涡轮分子真空泵广泛应用于等离子体刻蚀、表面分析和镀层技术等要求严苛的领域。
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罗茨泵

与合适的前级泵配合使用,无油罗茨泵可提供强劲且可靠的快速抽真空解决方案。它们灵活易用,可针对多种应用进行定制。

罗茨泵

与合适的前级泵配合使用,无油罗茨泵可提供强劲且可靠的快速抽真空解决方案。它们灵活易用,可针对多种应用进行定制。

隔膜泵

隔膜泵可产生干式真空,因此非常适合需要无油环境的应用。其运行安静、结构紧凑,特别适合用于医疗器械、实验室设备及分析应用中。

隔膜泵

隔膜泵可产生干式真空,因此非常适合需要无油环境的应用。其运行安静、结构紧凑,特别适合用于医疗器械、实验室设备及分析应用中。

多级罗茨泵

我们的多级罗茨泵无需使用润滑剂或密封材料,能够确保无颗粒污染,同时具备高可靠性与持久性能。多级设计使其能够在大气压力下运行。

多级罗茨泵

我们的多级罗茨泵无需使用润滑剂或密封材料,能够确保无颗粒污染,同时具备高可靠性与持久性能。多级设计使其能够在大气压力下运行。

旋片真空泵

旋片真空泵是一种容积式泵,可在各种应用中可靠地生产真空。Pfeiffer 普发提供以耐用性和长使用寿命著称的高性能型号。

旋片真空泵

旋片真空泵是一种容积式泵,可在各种应用中可靠地生产真空。Pfeiffer 普发提供以耐用性和长使用寿命著称的高性能型号。

螺杆真空泵

螺杆真空泵将高抽速与坚固、无油设计相结合,使其成为从冶金到冷冻干燥等广泛工业应用的理想选择。它们高效、可靠,且能够始终保持超高性能。

螺杆真空泵

螺杆真空泵将高抽速与坚固、无油设计相结合,使其成为从冶金到冷冻干燥等广泛工业应用的理想选择。它们高效、可靠,且能够始终保持超高性能。

涡旋真空泵

涡旋真空泵在低噪声水平下实现高性能,因此非常适合实验室、半导体制造和真空干燥等应用。其无油设计可确保清洁的运行环境和高运行效率。

涡旋真空泵

涡旋真空泵在低噪声水平下实现高性能,因此非常适合实验室、半导体制造和真空干燥等应用。其无油设计可确保清洁的运行环境和高运行效率。