COMBI

罗茨泵装置

我们的 COMBI 罗茨泵装置是预配置的高效率系统。它们由 HiLobe 或 PANDA 罗茨泵和匹配的前级泵（如 R5 或 DuoVane 旋片真空泵或 COBRA 螺杆真空泵）组成。此外，还包括 Profinet（以太网协议）等集成接口和管道或阀门等组件。这些功能可确保出色的性能，从而实现快速抽空时间和一致的真空度。还可提供定制解决方案，以满足特定的工艺要求。例如，可以将带有其他罗茨泵的附加泵级集成到装置中，以实现更低的极限压力并降低功率消耗。

我们的罗茨泵装置非常适合干燥和脱气等标准应用，也非常适合需要高运行可靠性的流程，如真空包装、冶金、真空干燥或泄漏检测系统。一般来说，它们是狭小空间的理想选择。

配备 HiLobe 罗茨泵的 COMBI 产品系列

具有高抽气速率的可靠罗茨泵装置

可靠
性能卓越
灵活

Pfeiffer 普发罗茨泵装置用于粗真空和中真空环境，可提供从大气压力低至 10^-3 hPa（mbar）的高抽气速率。

配备 HiLobe 罗茨泵的 COMBI 产品系列的优势

得益于集成式 HiLobe 罗茨泵及其高效的内部永磁电机（IPM），该技术规格的罗茨泵装置可实现快速抽真空时间。该电机符合 IE4 和 IE5 标准，通过高效的风冷型或水冷型装置进一步降低运行成本。为了能够在狭小空间内安装，罗茨泵装置中仅使用中小型 HiLobe 技术规格。通过灵活的安装位置，它们可以垂直或水平定位。我们的 COMBI 罗茨泵装置采用标准配置，可根据特定应用量身定制，并提供一系列可选配件。例如，控制柜为电子设备和控制装置提供防护罩，通过 ProfiNet 接口（以太网协议）便于罗茨泵装置的条件监控和可靠的流程管理。

根据前级泵是干式还是油润滑型，对整个真空泵装置进行相应分类。

COMBI RH 罗茨泵装置可确保高抽气速率和快速抽空时间，非常适合负载锁定应用。它们将干式前级泵（通常为 COBRA 螺杆真空泵）与 HiLobe 罗茨泵相结合。

COMBI RU 罗茨泵装置配备 R5 等油润滑单级旋片真空泵，得益于高耐用性纤维增强环氧树脂叶片，无论何种气体类型，均可提供稳定的性能，从而实现不依赖于气体种类的抽气速率。这些坚固耐用的叶片具有耐化学腐蚀性，并且只需少量的维护。典型应用包括氦气泄漏检测或冶金。

COMBI RD 真空泵装置将 HiLobe 与 DuoVane 等双级旋片真空泵相结合。标准型号配备了轴密封，而备选配置则配备了带磁性联轴器的 DuoVane。在与气密式密封 HiLobe 相结合时，可形成永久密封的真空泵装置，从而防止泄漏和污染，确保可靠清洁的真空产生。我们的 COMBI RD 真空泵装置特别适合抽取惰性气体并实现低极限压力。它们是涡轮分子真空泵等高真空泵的理想前级泵，因为双级旋片真空泵的极限压力低于单级型号。这些罗茨泵装置经常用于冶金、真空涂层或研发等应用。

配备 PANDA 罗茨泵的 COMBI 产品系列

配备旁通阀的可靠罗茨泵装置

可靠
性能卓越
灵活

配备 Busch 普旭 PANDA 罗茨泵的 COMBI 产品系列用于产生低至 10^-3 hPa（mbar）的真空度。

配备 PANDA 罗茨泵的 COMBI 产品系列的优势

集成式 PANDA 罗茨泵配有旁通阀，可提供可靠的过载或过热防护。因此，它可以很好地用于高压差。

PANDA 罗茨泵的非接触式运行无需在工艺室中使用任何工作液，确保超低的维护要求。其出色的容积效率使其每次旋转都能够输送大量介质，并实现高流量。PANDA 罗茨泵可选配变速驱动装置，可降低能耗和运行成本。

COMBI BNV 罗茨泵装置将前级泵（通常是 COBRA 产品系列中的螺杆真空泵）与 PANDA 罗茨泵相结合。这种组合可在低极限压力下提供高抽气速率，确保抽真空时间短。典型应用包括冶金、包装或真空干燥。

COMBI BRV 真空泵装置配备 R5 单级旋片真空泵。R5 产品系列采用纤维增强环氧树脂制成的极其耐用的高性能叶片，可确保长使用寿命和连续运行。这使得罗茨泵装置成为快速抽空 load lock 腔体以及电子束焊和表面处理等应用的理想选择。