작동 유체
미네랄 오일 또는 미네랄 오일과 합성 오일의 혼합물은 대부분의 응용 분야에 적합합니다. 펌프에서 증기 응축 가능성이 있다면 항유화제 함유 오일을 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 오일과 물의 혼합을 일정 한도 내에서 막을 수 있습니다. 재증류 미네랄 오일은 오일 역류를 줄입니다. 부식성 가스와 이온화 플라즈마에 대해 저항력이 있습니다.
퍼플루오로폴리에테르 윤활유는 화학적으로 가장 안정적인 진공 펌프용 작동유입니다. 산소, 오존, 할로겐, 유기 및 무기 솔벤트, HCL, BF3, HF, PO3 및 불소를 펌핑하는 데 적합합니다.
다이에스터 윤활유는 최대 120°C 온도에 적합합니다. 저농도 솔벤트 같은 약부식성 매질에 대해 저항력이 있습니다. 2단 펌프에 대해 도달 가능한 최종 압력은 일반적으로 미네랄 오일을 사용했을 때보다 10배 정도 더 높습니다.
파이퍼 베큠은 로터리 베인 펌프용 작동 유체(진공 오일)을 다양하게 제공합니다. 공정에 적합한 작동 유체를 사용함으로써 펌프의 사용 수명을 상당히 연장할 수 있습니다. 단순한 광유가 공기 또는 불활성 기체, 수증기의 펌핑과 같은 응용분야에서 사용됩니다. 여러 번 증류한 광유는 까다로운 응용분야에서 화학적 부식 또는 이온화 플라즈마에 대한 내구성이 우수합니다. 디에스테르는 최대 120 °C까지의 온도에 적합합니다. 퍼플루오르폴리에테르(PFPE)는 화학적으로 불활성으로서 부식성이 강한 화학물질이 사용되는 공정, 예를 들어 반도체 또는 박막 산업과 산소 함유량이 21 % 이상인 매질에 적합합니다.
