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F4, 퍼플루오르폴리에테르, 1 l
주문 번호: PK 005 887 -T

  • 산소, 오존, 할로겐, 유기 및 무기 용제, HCL, BF 3 , HF, PO 3 , 불소의 펌핑용
  • 최대 120°C까지 높은 작동 온도에서 사용
  • 펌핑 속도가 최대 20 m3/h 이하로 펌핑할 경우
  • 극히 낮은 증기압, 도달 가능한 최종 압력 < 1 · 10-3 hPa
달성 가능한 최종 압력 < 1 · 10-3 hPa | < 7.5 · 10-4 Torr | < 1 · 10-3 mbar
작동유 속성 산화 저항성
플라즈마 식각 호환
산 및 유기성 증기에 대한 저항성
50 및 60 Hz 본선 펌프 작동용
강한 부식성 가스 펌핑
산소 함량 >21% 가스 펌프
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