PFPE 오일 사용이 가능한 내부식성 버전

부식성 버전 로터리 베인 펌프는 Pfeiffer Vacuum 퍼플루오로폴리에테르(PFPE) 작용유를 사용합니다. 불활성 작동유 덕분에 이 펌프를 고부식성 공정에서 사용할 수 있습니다. PFPE 작동유는 별도로 주문해야 합니다.

어플리케이션

CVD 코팅
코팅(마모 보호)
반도체 기술
연구 및#38; 개발

고객 가치

설치 면적이 작고 시스템 통합에 이상적임
소형 크기에서 최대의 펌핑 속도 제공
낮은 최종 압력
작동 신뢰도가 높고, 부식성 물질과 접촉되는 부분에 특수 소재를 사용
화학적 불활성 작동유 사용으로 인해 긴 사용 시간

Pascal 2010 C2 (10 m³/h)

특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
최종 압력이 매우 낮아 중진공 응용 분야에 이상적임
단상의 직교류 겸용 모터 사용으로 전원 공급상 문제 없이 거의 전 세계에 걸쳐 사용 가능
입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
PFPE 작동 유체 사용 가능

유형 명칭	모터 유형	입력 전압	부품 번호
Pascal 2010 C2	용 단상 펌프	180 – 254 V AC, 50/60 Hz	210C2MHEN
Pascal 2010 C2	용 단상 펌프	90 – 132 V AC, 50/60 Hz	210C2MLAN
Pascal 2010 C2	3상 모터	342 – 460 V AC, 50 Hz // 342 – 520 V AC, 60 Hz	210C2THEN
Pascal 2010 C2	3상 모터	342 – 460 V AC, 50 Hz // 342 – 520 V AC, 60 Hz	210C2TLAN

Pascal 2015 C2 (15 m³/h)

특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
최종 압력이 매우 낮아 중진공 응용 분야에 이상적임
단상의 직교류 겸용 모터 사용으로 전원 공급상 문제 없이 거의 전 세계에 걸쳐 사용 가능
입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
PFPE 작동 유체 사용 가능

유형 명칭	모터 유형	입력 전압	부품 번호
Pascal 2015 C2	용 단상 펌프	90 – 132 V AC, 50/60 Hz	215C2MHEN
Pascal 2015 C2	용 단상 펌프	90 – 132 V AC, 50/60 Hz	215C2MLAN
Pascal 2015 C2	3상 모터	342 – 460 V AC, 50 Hz // 342 – 520 V AC, 60 Hz	215C2THEN
Pascal 2015 C2	3상 모터	170 – 254 V AC, 50 Hz // 170 – 300 V AC, 60 Hz	215C2TLAN

Pascal 2021 C2 (21 m³/h)

특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
최종 압력이 매우 낮아 중진공 응용 분야에 이상적임
단상의 직교류 겸용 모터 사용으로 전원 공급상 문제 없이 거의 전 세계에 걸쳐 사용 가능
입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
PFPE 작동 유체 사용 가능

유형 명칭	모터 유형	입력 전압	부품 번호
Pascal 2021 C2	용 단상 펌프	180 – 254 V AC, 50/60 Hz	221C2MHEN
Pascal 2021 C2	용 단상 펌프	90 – 132 V AC, 50/60 Hz	221C2MLAN
Pascal 2021 C2	3상 모터	342 – 460 V AC, 50 Hz // 342 – 520 V AC, 60 Hz	221C2THEN
Pascal 2021 C2	3상 모터	170 – 254 V AC, 50 Hz // 170 – 300 V AC, 60 Hz	221C2TLAN

Duo 35 C

특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
요구사항이 까다로운 산업 응용 분야를 위한 견고한 디자인 및 매우 긴 정비 주기
부속품 프로그램이 광범위하여 유연한 사용이 가능
옵션으로 자기 커플링 사용 가능
입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
PFPE 작동 유체 사용 가능

유형 명칭	모터 유형	입력 전압	부품 번호
Duo 35 C	3상 모터	230 / 400 V AC, 50 Hz // 265 / 460 V AC (±5 %), 60 Hz	PK D45 202
Duo 35 C	3상 모터	220 / 380 V AC (±5 %), 60 Hz	PK D45 242

Duo 65 C

특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
요구사항이 까다로운 산업 응용 분야를 위한 견고한 디자인 및 매우 긴 정비 주기
부속품 프로그램이 광범위하여 유연한 사용이 가능
옵션으로 자기 커플링 사용 가능
입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
PFPE 작동 유체 사용 가능

유형 명칭	모터 유형	입력 전압	부품 번호
Duo 65 C	3상 모터	230 / 400 V AC, 50 Hz // 265 / 460 V AC (±5 %), 60 Hz	PK D46 202
Duo 65 C	3상 모터	220 / 380 V AC (±5 %), 60 Hz	PK D46 242

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Pfeiffer Vacuum Inc.

24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

T	+1 (800) 248-8254
F	+1 (888) 658-7983

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