PFPE 오일 사용이 가능한 내부식성 버전

부식성 버전 로터리 베인 펌프는 Pfeiffer Vacuum 퍼플루오로폴리에테르(PFPE) 작용유를 사용합니다. 불활성 작동유 덕분에 이 펌프를 고부식성 공정에서 사용할 수 있습니다. PFPE 작동유는 별도로 주문해야 합니다.

어플리케이션

  • CVD 코팅
  • 코팅(마모 보호)
  • 반도체 기술
  • 연구 및#38; 개발

고객 가치

  • 설치 면적이 작고 시스템 통합에 이상적임
  • 소형 크기에서 최대의 펌핑 속도 제공
  • 낮은 최종 압력
  • 작동 신뢰도가 높고, 부식성 물질과 접촉되는 부분에 특수 소재를 사용
  • 화학적 불활성 작동유 사용으로 인해 긴 사용 시간

Pascal 2010 C2 (10 m3/h)

  • 특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
  • 최종 압력이 매우 낮아 중진공 응용 분야에 이상적임
  • 단상의 직교류 겸용 모터 사용으로 전원 공급상 문제 없이 거의 전 세계에 걸쳐 사용 가능
  • 입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
  • PFPE 작동 유체 사용 가능

Pascal 2015 C2 (15 m3/h)

  • 특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
  • 최종 압력이 매우 낮아 중진공 응용 분야에 이상적임
  • 단상의 직교류 겸용 모터 사용으로 전원 공급상 문제 없이 거의 전 세계에 걸쳐 사용 가능
  • 입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
  • PFPE 작동 유체 사용 가능

Pascal 2021 C2 (21 m3/h)

  • 특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
  • 최종 압력이 매우 낮아 중진공 응용 분야에 이상적임
  • 단상의 직교류 겸용 모터 사용으로 전원 공급상 문제 없이 거의 전 세계에 걸쳐 사용 가능
  • 입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
  • PFPE 작동 유체 사용 가능

Duo 35 C

  • 특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
  • 요구사항이 까다로운 산업 응용 분야를 위한 견고한 디자인 및 매우 긴 정비 주기
  • 부속품 프로그램이 광범위하여 유연한 사용이 가능
  • 옵션으로 자기 커플링 사용 가능
  • 입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
  • PFPE 작동 유체 사용 가능

Duo 65 C

  • 특수 재료의 사용으로 높아진 내구성
  • 요구사항이 까다로운 산업 응용 분야를 위한 견고한 디자인 및 매우 긴 정비 주기
  • 부속품 프로그램이 광범위하여 유연한 사용이 가능
  • 옵션으로 자기 커플링 사용 가능
  • 입구 및 출구 포트를 수평 또는 수직 방향으로 조정할 수 있어 통합이 용이해짐
  • PFPE 작동 유체 사용 가능
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