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A113, 퍼플루오로폴리에테르 오일, 0.5 L
| 달성 가능한 최종 압력 | 5 · 10-3 hPa | 3.75 · 10-3 Torr | 5 · 10-3 mbar |
| 작동유 속성 | 산화 저항성 산 및 유기성 증기에 대한 저항성 플라즈마 식각 호환 산소 함량 >21% 가스 펌프 강한 부식성 가스 펌핑 50 및 60 Hz 본선 펌프 작동용 |
| 작동유의 양 | 0.5 l |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-03-21 | ~ 44.6 KB | ||
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