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A113, 퍼플루오로폴리에테르 오일, 0.5 L
주문 번호: 064657

달성 가능한 최종 압력 5 · 10-3 hPa | 3.75 · 10-3 Torr | 5 · 10-3 mbar
작동유 속성 산화 저항성
산 및 유기성 증기에 대한 저항성
플라즈마 식각 호환
산소 함량 >21% 가스 펌프
강한 부식성 가스 펌핑
50 및 60 Hz 본선 펌프 작동용
작동유의 양 0.5 l
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