| 냉각 방법 | 공기(강제 대류) |
| 무게 | 53.8 kg | 118.61 lb |
| 배압 펌프 | Duo 6 M |
| 유형 | 터보 펌핑 스테이션 |
| 음압 레벨 | ≤50 dB(A) |
| 입력 전압 | 100 – 110 V AC, 50 Hz // 100 – 120 V AC, 60 Hz |
| 전진공 안전 밸브 | 아니오 |
| 주전원 주파수 호환성 | 50 Hz 60 Hz |
| 지역 용 모터 | 미국 |
| 최대 전력 소비 | 310 W |
| 최종 압력 | < 5 · 10-10 hPa | < 3.75 · 10-10 Torr | < 5 · 10-10 mbar |
| 터보 펌프 | HiPace 80 |
| 펌핑 속도 - N2 | 67 l/s |
| 펌핑 속도 배압 펌프 | 5 m³/h | 2.94 cfm | 83.33 l/min |
| 펌핑 속도 배압 펌프, 50 Hz | 5 m³/h | 2.94 cfm | 83.33 l/min |
| 플랜지(입력) | DN 63 CF-F |
| 플랜지(출력) | G 1/2 |
| UHV 게이트 밸브, DN 63 CF, 메트릭, 전자공압식, PI (RS)/PV 24 V DC, SS/Cu/FKM | GVMP-S06542 |
| OmniControl 200, PKR 361 포함, 25 KF | PT 440 955 -T |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-09-29 | ~ 458.1 KB | ||
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 운영 지침 | KO | 2023-09-14 | ~ 6.3 MB | ||
| 작동 매뉴얼 | KO | 2023-04-28 | ~ 2.6 MB | ||
| 작동 매뉴얼 | KO | 2021-11-02 | ~ 1.8 MB | ||
| 작동 매뉴얼 | KO | 2021-11-29 | ~ 3.8 MB | ||
| 작동 매뉴얼 | KO | 2020-08-10 | ~ 2.7 MB | ||
| 작동 매뉴얼 | KO | 2019-07-22 | ~ 7.9 MB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
