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진공 밸브

진공 시스템 설계에 필수적입니다.

진공 밸브

진공 밸브는 진공 시스템의 설계와 기능에 중요한 역할을 하며 다양한 산업 및 연구 응용 분야에서 정밀한 제어와 신뢰성을 보장합니다.

당사의 밸브 포트폴리오에는 다양한 작동 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 액추에이터와 플랜지 유형으로 제공되는 광범위한 압력 조절 밸브 및 단열 밸브가 포함됩니다.

진공 밸브의 유형

기본 진공 시스템은 진공 펌프, 진공 챔버, 진공 밸브 등 세 가지 핵심 부품으로 구성됩니다. 올바른 진공 밸브의 선택은 시스템 성능을 최적화하는 데 매우 중요하며 다양한 기준에 따라 달라집니다. 진공 밸브는 일반적으로 두 가지 주요 범주, 즉 격리 밸브압력 조절 밸브로 분류됩니다.

격리 밸브

격리 밸브는 진공 시스템 섹션을 격리하여 진공 조건 유지에 중요합니다. 기체 또는 액체 흐름을 제어하며 수동, 공압 또는 전기로 작동할 수 있습니다. 반도체 제조, R&D 및 산업 공정을 비롯한 다양한 응용 분야에 적합한 격리 밸브는 안정적인 밀봉과 운영 효율성을 보장합니다.
  • angle_valves

    앵글 밸브

    진공 시스템의 포라인을 통해 가스 흐름을 차단하는 응용 분야에 사용됩니다.

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  • inline_valves

    인라인 밸브

    효율적인 가스 흐름과 높은 차압을 위해 설계되어 산업용 및 연구용 응용 분야에 이상적입니다.

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  • hv_gate_valves

    HV 게이트 밸브

    분자 흐름에 대해 높은 전도도 값을 제공하여 고진공에 이상적입니다.

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  • HV 진자 밸브

    HV 진자 밸브

    부드러운 작동과 높은 전도성 제공 - 공간이 제한적이고 안정적인 진공 절연이 필요한 응용 분야에 이상적입니다.

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  • UHV 게이트 밸브

    UHV 게이트 밸브

    높은 전도도와 우수한 밀봉성을 제공하여 초고진공 응용 분야에 이상적입니다.

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  • 볼 밸브

    볼 밸브

    가혹한 공정을 처리할 수 있어 안정적인 밀봉과 내구성이 요구되는 응용 분야에 적합합니다.

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  • 배기 밸브

    배기 밸브

    진공 시스템을 대기압으로 제어하여 안전한 유지보수 및 시스템 셧다운에 필수적입니다.

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  • 다이어프램 밸브

    다이어프램 밸브

    고진공 조건에서 가스 흐름을 제어하는 응용 분야에 최적의 솔루션입니다.

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  • 버터플라이 밸브

    버터플라이 밸브

    진공 시스템의 분리 섹션에 이상적이며 고진공 응용 분야에 효율적인 가스 유량 제어를 제공합니다.

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압력 조절 밸브

압력 제어 시스템은 밸브, 컨트롤러 및 압력 게이지의 세 가지 필수 부품으로 구성됩니다. 압력 조절 밸브의 주요 기능은 진공 챔버 내부의 압력과 진공 시스템 내의 가스 흐름을 조절하는 것입니다. 이 밸브는 반도체 및 코팅 산업과 같이 까다로운 공정 제어가 필요한 응용 분야에 이상적입니다.
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    가스 제어 밸브

    니들 밸브 원리를 기반으로 작동하여 진공 시스템에 정의된 가스 흐름을 정밀하게 제어하고 도입합니다.

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    가스 주입 밸브

    진공 시스템의 가스 흐름과 압력을 조절합니다. 인가된 코일 전류에 따라 밸브 개방 사이즈가 지속적으로 증가합니다.

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액추에이터

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밸브의 작동 방법은 다양합니다.

격리 밸브는 일반적으로 수동 또는 공압식으로 작동하는 반면 압력 제어 밸브는 전기 모터로 구동됩니다.

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수동 작동

핸드휠 또는 퀵 클로징/퀵 오프닝 메커니즘이 있는 수동 밸브는 최대 150°C의 온도에 견디며 전자 부품의 제한 없이 작동할 수 있습니다.

전기식 작동

전기식 작동은 전기 모터를 사용하여 전기 에너지를 정밀한 기계적 움직임으로 변환하므로 압축 공기 없이도 자동화되고 안정적인 제어가 가능합니다.

공압식 작동

공압식 밸브는 오일프리 압축 공기 공급이 필요합니다.

전기 공압식 작동

밸브에 압축 공기 공급을 제어하는 솔레노이드 밸브가 내장된 공압 작동식 밸브입니다.

플랜지

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플랜지는 진공 시스템의 다양한 부품을 연결하는 데 사용되는 필수 부품으로, 안전하고 누설이 없는 조립을 보장합니다. 플랜지는 진공 펌프, 밸브 및 기타 부품을 통합하여 시스템 무결성과 효율성을 유지합니다. 다음과 같은 플랜지 유형을 사용할 수 있습니다.

  • ISO-KF
  • ISO-K
  • ISO-F
  • CF
  • 나사산


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FAQ

내 응용 분야에 적합한 진공 밸브는 무엇입니까?

응용 분야에 적합한 진공 밸브를 찾기 위한 기준:

  • 목적: 응용 분야는 밸브 선택에 큰 영향을 미칩니다. 밸브가 주로 진공 라인을 열고 닫는 데 사용되는지 또는 압력을 조절하는 데 사용되는지에 따라 요구 사항이 달라집니다.
  • 설치 및 시스템 호환성: 사용 가능한 설치 공간의 물리적 치수와 진공 펌프 및 챔버의 플랜지는 적절한 밸브 사이즈를 선택하는 데 직접적인 영향을 미칩니다.
  • 유입된 물질: 밸브를 통해 흐르는 가스의 조성은 밸브의 내구성과 신뢰성을 보장하는 소재 선택에 큰 영향을 미칩니다.
  • 온도: 밸브 바디와 밀봉에 적합한 소재를 선택하고 오래 지속되는 기능을 보장하려면 예상 온도에 대한 지식이 필수적입니다.
  • 압력: 밸브가 노출될 압력 조건을 이해하면 밸브 선택에 영향을 미칩니다.

밸브는 어떻게 작동하나요?

공압식 밸브는 압축 공기를 사용하여 밸브의 움직임을 제어합니다. 작동에 필요한 공기 압력은 일반적으로 4~8bar입니다.

공압식 작동 밸브에는 두 가지 주요 유형이 있습니다.

  • 단동 밸브(일반적으로 소형 직각 밸브)는 압축 공기를 사용하여 밸브를 열고, 공기 공급이 끊기면 스프링이 밸브를 기본 위치로 되돌립니다. 대부분의 단동 밸브는 일반적으로 닫혀 있어 압축 공기가 밸브를 열고 스프링이 압력이 제거되면 밸브를 닫습니다.
  • 복동 밸브(일반적으로 더 큰 밸브)는 개폐 모두에 압축 공기를 사용하므로 까다로운 응용 분야에서 더 큰 제어와 신뢰성을 제공합니다.

압축 공기 흐름을 조절하기 위해 솔레노이드 밸브는 밸브의 공기 실린더로 공기를 유방향으로 보내는 데 사용됩니다. 전자기 밸브에는 솔레노이드가 통합되어 있으며, 대부분의 진공 시스템에는 작동을 위해 24V DC 전원 솔레노이드가 필요합니다.

모니터링 용도로 위치 표시장치를 사용하여 밸브가 열려 있는지 또는 닫혀 있는지 확인할 수 있습니다. 수동 밸브는 일반적으로 시각적 표시장치가 있는 반면, 공압 밸브는 진공 시스템에 직접 피드백을 제공하여 정밀한 제어 및 모니터링을 보장할 수 있습니다.

Pfeiffer 밸브의 특별한 점은 무엇인가요?

당사의 압력 제어 밸브에는 탁월한 성능을 위해 설계된 두 가지 주요 혁신 기술이 통합되어 있습니다.

  • 모든 컨트롤러의 핵심은 매우 미세한 위치 분해능으로 고속 작동을 가능하게 하는 특허받은 모터 제어 기술입니다.
  • 자동 압력 제어 알고리즘은 모터 제어와 함께 작동하여 거의 오류 없는 압력 조절을 보장합니다.

밸브는 어떤 압력 범위에서 사용할 수 있나요?

진공 밸브는 모든 진공 응용 분야에 적합하며, 특정 압력 수준에 필요한 밀봉 기술에 따라 밸브를 선택할 수 있습니다.

  • 고진공 응용 분야(최대 1×10-⁸hPa(mbar))용으로 Pfeiffer 은 엘라스토머 밀봉과 ISO-KF/ISO-K 플랜지를 갖춘 광범위한 밸브를 제공하여 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다.
  • 초고진공 응용 분야에서는 습식 영역에 금속 밀봉이 있고 CF 플랜지가 장착된 밸브가 가장 적합합니다. 완전 금속 밀봉이 있는 전체 금속 밸브도 사용할 수 있습니다.

어떤 밀봉과 밀봉 메커니즘을 사용할 수 있나요?

밀봉 및 밀봉 방식은 진공 시스템에 적합한 밸브를 선택하는 데 결정적인 역할을 합니다.

  • 고무 씰은 고진공 응용 분야에 안정적인 밀봉을 제공합니다. 온도 저항성은 엘라스토머 소재와 작동 유형에 따라 달라집니다.
  • 금속 밀봉은 엘라스토머가 필요하지 않으므로 초고진공 응용 분야에 이상적입니다. 최대 300°C의 온도를 견딜 수 있습니다.

어떤 유형의 고진공 밸브를 사용할 수 있나요?


직각 밸브는 가스 흐름을 90° 전환하는 반면, 인라인 밸브는 반대쪽 연결 플랜지가 있어 직선형 파이프라인에 쉽게 설치할 수 있습니다. 두 종류 모두 일반적으로 벨로우즈를 밀봉으로 사용합니다.

게이트 밸브 격리 진자 밸브는 협소한 공간에 적합하며 광학적으로 자유로운 통로를 통해 막힘 없는 가스 흐름을 보장합니다. 이 밸브는 고진공 및 초고진공용으로 설계되었으며 종종 30mbar의 낮은 차압에서 개방됩니다. 에어록 또는 펌프의 업스트림에 이상적인 선택입니다.

볼 밸브는 특정 고진공 응용 분야에서도 사용할 수 있습니다. 비용 최적화된 KF 설계는 10-6mbar l/s의 누설률을 보이며 최대 80°C의 온도를 견딜 수 있습니다. 특수 설계를 통해 HV 범위에 적합하며 최대 150°C의 온도를 견딜 수 있습니다.

올바른 밸브의 선택은 공정 순서, 공정 온도, 최종 진공 및 가스 조성과 같은 요인에 따라 달라집니다. 다음 섹션에서는 당사의 밸브 유형, 밀봉, 밀봉 메커니즘 및 구동 유형에 대한 개요를 제공합니다. Pfeiffer 에서는 고객의 진공 범위에 적합한 밸브 솔루션을 찾을 수 있습니다.