반도체

Semiconductor

최근 몇 십 년 동안 반도체 산업은 오늘날의 세계를 형성했으며 거의 모든 산업의 성장과 인간의 복지에 기여했습니다. 컴퓨팅, 인터넷, 휴대폰 및 소셜 미디어는 이런 기술 덕분에 인류가 매일 즐기는 소수의 주요한 발전 중 몇 가지입니다. 그리고 이게 전부는 아닙니다. 세계는 이제 거대한 성장 및 혁신을 견인하는 빅데이터 및 인공 지능의 새로운 시대로 접어들고 있습니다.

Complete fab solutions – from cleanroom to exhaust!

Explore our virtual semiconductor fab and learn more about how our comprehensive product portfolio is used in the semiconductor industry.

Our range includes turbomolecular vacuum pumps, vacuum valves, vacuum gauges, leak detectors, contamination management systems, gas abatement systems, dry multi-stage Roots vacuum pumps as well as dry screw vacuum pumps.

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SemiFab

솔루션

스크류 펌프

마이크로칩 생산, 실리콘 웨이퍼 코팅 및 에칭을 포함한 반도체 제조 분야에서 가장 까다로운 공정 용도로 설계되었습니다.

Cobra Semicon 33
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다단계 부스터 펌프

청정 및 건조 공정에 이상적인 이 펌프는 높은 흡입 용량 및 낮은 최대 진공도 덕분에 반도체 애플리케이션 응용 분야 이상적입니다.

Torri Semicon 33
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터보 펌프

터보 펌프는 신뢰성, 낮은 진동 및 매우 낮은 진공 레벨 생성 능력으로 인해 반도체 애플리케이션 응용 분야 사용에 적합합니다.

Hipace Turbopump 33
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