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适用于清洁应用的多级罗茨泵

工业、研发和半导体市场的解决方案

干式泵可在泵的整个使用寿命内提供恒数功率、坚固性和高运行可靠性，适用于需要无油和无颗粒真空的应用。

我们的多级罗茨泵查找产品

Multi Stage Roots Pumps For Clean Applications

产品范围

A 100 L
A 100 L
11 种可用变型
A 200 L
A 200 L
5 种可用变型
ACP 15
ACP 15
9 种可用变型
ACP 28
ACP 28
16 种可用变型
ACP 40
ACP 40
16 种可用变型
ACP 90
ACP 90
6 种可用变型
ACP 120
ACP 120
4 种可用变型
TORRI BD
TORRI BD

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多级罗茨泵的优点

多级罗茨泵是清洁应用的理想解决方案，因为其无油和无颗粒泵送系统，没有碳氢化合物蒸汽回流，可靠性高，维护成本低，并且能够处理大量可冷凝蒸汽。

ACP 系列

多功能且可靠

ACP 旨在满足实验室、粒子加速器、真空镀膜、气体工业等行业的要求。风冷设计消除了供水的安装和运营成本。此外，ACP 90 泵运行时振动和噪音水平较低，确保安静舒适的工作环境。 ACP 系列提供多种气体连接选项、通用电源和提供恒速的变频器，从而实现稳定的抽速和一致的入口压力。该变频器提供了额外的功能，例如计时器和远程操作模式，以提高便利性和效率。 ACP系列符合CE标准、UL/CSA认证和SEMI S2认证，提供不同版本以满足特定应用要求。泵模块内部没有磨损部件，因此可靠性高且拥有成本低

ACP 90

Video: Features of the ACP 90 multi-stage Roots pump

A 100 L 和 A 200 L

适合装载锁和转移室

A 100 L 和 A 200 L 集成泵尺寸紧凑，非常适合负载锁和传输室以及所有非腐蚀性应用。惰性吹扫气体能够输送微量腐蚀性气体，可保护轴承并稀释吸入室中的腐蚀性介质。

A 100 L A 200 L

Multi Stage Roots Pump A 200 L

A 200 L

Torri Bd 0100 A

TORRI BD 0100–0600 A

TORRI

用于 load lock 腔体的紧凑、高效的解决方案

TORRI BD 多级罗茨泵采用目前市场上最紧凑的设计，兼具高能效特性，是 load lock 腔体抽真空的理想解决方案。

该泵具有低极限压力和出色的抽真空时间等特点。干式非接触式工作原理显著减少了运动部件的磨损，不仅维护工作量极小，还能确保设备长时间稳定运行。

多级罗茨泵用于：

宣传册

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