A4X 系列
A4X 系列干式泵可应对腐蚀性应用
半导体生产中的严苛型工艺总是向真空泵提出新的挑战。基于成熟而节能的多级罗茨泵技术，A4X 系列提供专为腐蚀性应用而设计的四种不同的干式泵解决方案，抽速从 160 到 3,000 m3/h，各不相同。
A4X 系列可与前任系列泵完全兼容。
优势
- 得益于多级罗茨泵技术、高效电机以及电加热器的有限使用而实现高能效
- 延长使用寿命的耐腐蚀性材料
- 工作温度范围宽，防止泵的前驱体发生爆裂或可冷凝物沉积。
- 高故障平均间隔时间和，低拥有成本
- 高颗粒耐受性提高工具的正常运行时间
- 准确控制泵操作条件和空闲模式功能的扩展监控功能
- 符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
应用
- 半导体产业（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
- 涂料行业：光伏和 LED
针对腐蚀性工艺的优秀解决方案
A4X 系列具有 A4H 系列的所有技术优势和好处，采用耐腐蚀性材料。与 A4H 型号相比，其使用寿命大幅度提高—在某些工艺上提高了 2 倍，降低了拥有成本。
A4X 系列：用于 CVD 工艺的节能解决方案
得益于其多级罗茨泵技术和高效电机，A4 系列是工艺操作中能耗相对低的泵之一。通过结合空闲模式功能和用户友好型转速调整，使用这些干式泵可以将运营成本降低。
