多级罗茨泵 - ADH 系列

ADH 系列

适用于最新工艺应用的新型高性能干式泵

以最低运营成本提供最高 H2 抽速
ADH 系列最大的优势之一是其高氢气抽速,在可工艺步骤之间更快排空腔室。结合大流量公差,这使得 ADH 泵适用于最苛刻的工艺规范。得益于优化的设计,泵在同级泵送性能水平中可提供市场上最佳的功耗。

无中间维护
所有轴承均经过了油润滑,不需要现场维护。经过改善的粉末耐受性、冷凝管理以及待机模式有助于降低运营成本。

对工艺副产品的高耐受性
泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫,以防止粉末积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉末,保证良好的重启能力。ADH 系列采用全新的监控系统进行升级,其功能有助于提高工艺可靠性。

坚固、安全
ADH 系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行爆炸性气体(如氢气和硅烷)的应用时具有最高水平的安全性。

优势

  • 泵速高达 4,500 m3/h
  • 泵送 N2 和 H2 时具有类似的泵送性能。
  • 使用 50 和 60 Hz 电源具有相同的性能。
  • 低功率和低耗水量实现低 COO
  • 高粉转移能力
  • 得益于润滑的轴承以及对工艺副产品的高耐受性,具有较长的维护间隔
  • 由于具有优异的抗静态和动态内应力,从而增强了安全性

应用

  • 半导体(ALD、Epitaxy 和 EUV)
  • 太阳能电池(a-Si 和 μ-Si PECVD)
  • LED (MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP…)
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