ADH 系列
适用于新工艺应用的新型高性能干式泵
以较低运营成本提供高 H2 抽速
ADH 系列最大的优势之一是其高氢气抽速，在可工艺步骤之间更快排空腔室。结合大流量公差，这使得 ADH 泵适用于苛刻的工艺规范。得益于优化的设计，泵在同级泵送性能水平中可提供市场上出色的功耗。
无中间维护
所有轴承均经过了油润滑，不需要现场维护。经过改善的粉末耐受性、冷凝管理以及待机模式有助于降低运营成本。
对工艺副产品的高耐受性
泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫，以防止粉末积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉末，保证良好的重启能力。ADH 系列采用全新的监控系统进行升级，其功能有助于提高工艺可靠性。
坚固、安全
ADH 系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行爆炸性气体（如氢气和硅烷）的应用时具有最高水平的安全性。
优势
- 泵速高达 4,500 m3/h
- 泵送 N2 和 H2 时具有类似的泵送性能。
- 使用 50 和 60 Hz 电源具有相同的性能。
- 低功率和低耗水量实现低 COO
- 高粉转移能力
- 得益于润滑的轴承以及对工艺副产品的高耐受性，具有较长的维护间隔
- 由于具有优异的抗静态和动态内应力，从而增强了安全性
应用
- 半导体（ALD、Epitaxy 和 EUV）
- 太阳能电池（a-Si 和 μ-Si PECVD）
- LED (MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP…)
