多级罗茨泵 - A3P系列

A3P系列

A3P 系列干泵降低运营成本

A3P 系列干泵:针对中型工艺的高能效先进技术
普发真空 A3P 系列真空泵具有三款型号可选,由于产品极大地降低了运营成本,使其在市场中脱颖而出。与以往真空泵技术相比,最高节约能耗可达 50%。在工艺适应性方面,该系列真空泵结合了最先进的技术。此外,由于产品的结构设计紧凑,使其与传统的真空泵相比,可节约高达50%的空间。

优势

  • 运营成本低
  • 占用空间小
  • 重量轻,组装更简易
  • 在中型工艺中性能可靠
  • 满足半导体生产要求

 

应用

  • 半导体行业(蚀刻、离子注入、PVD 等)
  • 太阳能光伏

 

用于半导体行业的干泵
A3P 系列干泵的设计是基于成熟的多级罗茨技术。泵体内部可耐腐蚀性气体。因此,在中型工艺中,该系列真空泵具有可靠性高的优点。三种型号的真空泵抽速覆盖范围广,因此,可以满足半导体中型工艺用泵的大部分要求。A3P 系列产品适合在无尘室操作,且已通过 CE 和 Semi S2 标准认证。
 

专为中型工艺用途设计,可靠性高
在中型工艺中,干式真空泵表现出色,性能可靠,使其在市场中脱颖而出。该系列真空泵配有温度传感器和惰性气体吹扫功能。而噪音低和震动小则是 A3P 系列的另外两个突出优点。

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