用于极端腐蚀性应用的多级罗茨泵
XN 系列干式流程泵可满足具腐蚀性工艺的要求。XN 系列的泵速为 600 至 2,900 m3/h，可满足大多数耐腐蚀性关键应用的要求。这种技术可降低维护频率并延长泵送寿命。拥有成本大大降低，工具停机时间也大幅缩短。
XN 系列泵可与其他系列泵兼容。
优势
- 耐腐蚀，延长使用寿命和坚固性
- 在严苛的腐蚀性应用中，使用寿命延长多至 5 倍
- 结构紧凑，占地面积小
- 长久的平均维护间隔时间和节能模式使拥有成本降低
- 重量轻，易于装配
- 在中型负载应用上具有高可靠性
- 匹配半导体生产的需求
- 扩展的监视功能，可准确控制泵操作条件
应用
- 半导体产业（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
- 涂层产业：光伏和 LED
用于腐蚀性工艺的出色解决方案
XN 系列具有 A3 和 A4 系列的所有技术优势和好处，在与工艺气体接触的所有部件上均采用镍涂层，具有高耐腐蚀性。与 H 和 X 型相比，在非常高的腐蚀性应用中（如多晶硅蚀刻），其使用寿命大大提高。
