用于极端腐蚀性应用的多级罗茨泵

XN 系列干式流程泵可满足最具腐蚀性工艺的要求。XN 系列的泵速为 600 至 2,900 m3/h,可满足大多数耐腐蚀性关键应用的要求。这种创新技术可降低维护频率并延长泵送寿命。拥有成本大大降低,工具停机时间也大幅缩短。

XN 系列泵可与其他系列泵完全兼容。

优势

  • 完全耐腐蚀,延长使用寿命和坚固性
  • 在最严苛的腐蚀性应用中,使用寿命延长多至 5 倍
  • 结构紧凑,占地面积小
  • 长久的平均维护间隔时间和节能模式使拥有成本降低
  • 重量轻,易于装配
  • 在中型负载应用上具有高可靠性
  • 匹配半导体生产的需求
  • 扩展的监视功能,可准确控制泵操作条件

应用

  • 半导体产业(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
  • 涂层产业:光伏和 LED

用于最腐蚀性工艺的最优解决方案
XN 系列具有 A3 和 A4 系列的所有技术优势和好处,在与工艺气体接触的所有部件上均采用镍涂层,具有高耐腐蚀性。与 H 和 X 型相比,在非常高的腐蚀性应用中(如多晶硅蚀刻),其使用寿命大大提高。

社交网络