A4XN 系列

A4X 系列干式泵可应对最腐蚀性应用

半导体生产中的严苛型工艺总是向真空泵提出新的挑战。基于成熟的节能多级罗茨泵技术,A4XN 系列提供专为极具腐蚀性应用而设计的四个不同的干式泵解决方案,抽速从 600 到 2,900 m3/h,各不相同。

A4XN 系列可与前任系列和版本(H 和 X)的泵完全兼容。

优势

  • 镍涂层技术使其具有最高耐腐蚀性,延长了使用寿命
  • 得益于多级罗茨泵技术、高效电机以及电加热器的有限使用而实现高能效
  • 工作温度范围宽,防止泵的前驱体发生爆裂或可冷凝物沉积。
  • 高故障平均间隔时间和,低拥有成本
  • 高颗粒耐受性提高工具的正常运行时间
  • 准确控制泵操作条件和空闲模式功能的扩展监控功能
  • 符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准

应用

  • 半导体产业(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
  • 涂料行业:光伏和 LED

用于最腐蚀性工艺的最优解决方案
A4XN 系列具有 A4H 和 A4X 系列的所有技术优势和好处,在与工艺气体接触的所有部件上均采用镍涂层,耐腐蚀。与 A4H 和 A4X 型相比,在非常高的腐蚀性应用中(如多晶硅蚀刻),其使用寿命大大提高。

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