用于洁净工艺的多级罗茨泵

轻型工艺越来越需要洁净且干燥的真空环境。普发真空的多级罗茨泵是工业和研发应用以及半导体市场后端和过程监控的理想解决方案。

用于轻型工艺的干式泵
以干式多级罗茨泵的成熟技术为基础,普发真空为轻型工艺提供多种泵用于选择。这些应用中泵的最重要特点是,泵的整个寿命周期内均具有持续性能,坚固而又有高可靠性。

ACP 系列风冷多级罗茨泵
ACP 系列多级罗茨泵是专为压力范围从大气压力直到 3 · 10-2 hPa 的无油无粒子应用而设计的。这种风冷泵是旋片泵的最佳替代品。

G 版本的泵经过特别开发,是专为传输少量腐蚀性气体而设计的。建议 ACP 系列的该版本用于传输室、工艺监视系统以及离子束应用。风冷 ACP 系列的 CV 版本的水蒸汽容量可达每小时 1,000 克。其专为避免泵体内的蒸汽冷凝而设计。

以标准版本为基础,已开发出多个特定版本的 ACP 泵以更好地满足特定要求,例如:

  • 无氟泵送方案,SH 和 R 版本
  • 抗核辐射,R 版本
  • 高价值气体的循环和回收,CP 版本

用于工业应用的 ACP 120 G 和 ACG 600 G
ACP 120 以上万台安装于全世界范围内的半导体流程泵为基础,在工业应用中也同样体现出多级罗茨泵的优势。水冷泵配有吹扫气体管路,用于轻微腐蚀性工艺或抽空冷凝介质。ACP 120 可与罗茨泵组合成不同的泵站。罗茨泵站 ACG 600 可作为装饰或工具涂层真空解决方案的完全免润滑抽真空系统的基础。

紧凑型干式泵:A 100 L 和 A 200 L
紧凑型干式泵 A 100 L 和 A 200 L 是为成本节约地集成到半导体生产系统而开发的。
A 200 L 经过优化,可以满足抽空装载互锁所需最严苛的频繁泵送周期。

应用

  • 装载互锁
  • 传输室
  • 溅射
  • PVD
  • 计量
社交网络