产品分类

用于洁净工艺的多级罗茨泵

针对洁净工艺所需的清洁干燥的真空环境,普发真空多级罗茨泵为工业和研究开发领域提供了理想的解决方案。
 

用于洁净工艺的干泵
普发真空拥有成熟的多级罗茨干泵技术,为洁净工艺提供各类解决方案。在这些应用中,真空泵具有抽速高、坚固耐用和可靠性高的显著特点。
 

ACP 系列中的风冷多级罗茨泵
ACP 系列的多级罗茨泵是专为无油无颗粒的应用工艺而设计,压力范围在大气压到 3 · 10-2 hPa 之间。在用于残余气体分析系统、电子显微镜或 UHV 系统中时,该气冷泵是旋片泵的最佳取代产品。它们可作为涡轮分子泵的理想粗真空泵。
G 型号系列真空泵是专为传输少量腐蚀性气体而特殊研发设计的。该版本的ACP系列真空泵适用于传送腔、工艺监测系统及离子束应用中。 ACP 系列产品中,CV 型号的风冷真空泵具有高达 1,000 g/h的水蒸汽容量。该系列产品是专为避免泵体内的蒸汽冷凝而设计的。
 

用于工业用途的 ACP 120 和 ACG 600
目前已有数以万计的半导体工艺用泵安装于世界各地,在工业应用领域,ACP 120 也同样发挥着多级罗茨泵的优势。水冷泵可作为洁净工艺的标准用泵,也可在轻微腐蚀性工艺中用作净化气体用途,或用于抽空冷凝物质。
ACP 120 可与罗茨泵组合构成不同类型的泵组。在装饰性或工具涂层的真空解决方案中,罗茨泵组 ACG 600可作为整个无油抽气系统的基础。
 

紧凑型干泵:A 100 L
紧凑型干泵 A 100 L 的开发,大大降低了半导体生产系统中设备集成费用。多级罗茨泵适合在无尘室中使用,且以其更高的抽速,往往用来替代外部泵。通过待机模式中的可调速度的变化,可进一步降低紧凑型干泵 A 100 L 的能耗。

应用

  • Load-lock
  • 传送腔
  • 溅射
  • PVD
  • 计量
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