产品分类
Multi-stage Roots Pumps - Pfeiffer Vacuum

工业型

ACP 120 和 ACG 600 的配件
在多级罗茨活塞泵技术的基础之上,ACG 600 是制造无油真空泵方案这 20 多年来经验的结晶。ACG 600 具备洁净无油真空所需的全部优势,在这样的真空里,任何颗粒或油滴都会带来污染的问题。用于对> 1 m3的大室容积进行泵汲的特殊版本可供货。
  • 当需要更高的吸气能力时,ACG 600 泵机组将干式泵 ACP 120 与 600 m3/h 的罗茨活塞泵进行组合
  • 高吸气能力 560 m3/h
  • 适于腐蚀性气体应用的标准版本或G版本
  • 用于大容积的版本可供选择
在多级罗茨活塞泵技术的基础之上,ACP 120 是制造无油真空泵方案这 20 多年来经验的结晶。ACP 120 具备洁净无油真空所需的全部优势,在这样的真空里,任何颗粒或油滴都会带来污染的问题。用于对> 1 m3的大室容积进行泵汲的特殊版本可供货。
  • 工业用干式真空泵可用于许多研发 和工业应用
  • 高吸气能力 110 m3/h
  • 适于腐蚀性气体应用的标准版本或G版本
  • 用于大容积的版本可供选择

适合工业用途的干泵
目前在世界各地的半导体工厂中,已安装了数以万计的2系列半导体工艺用泵,在工业和研发领域,ACP 120 同样发挥着多级罗茨泵的优势。该水冷真空泵可以作为洁净工艺的标准用泵,也可作为轻微腐蚀工艺或抽空凝结物的净化气体用泵。

优势

  • 性能卓越
  • 可靠性高
  • 维护简单

 

应用

  • 真空镀膜行业
  • 研发
  • 冷冻干燥

 

  • 由于其抽速高、基准压力低、循环作业耐受性强、能耗低,是范围在60〜100 立方米/小时等级的旋片泵的最佳取代品。
  • 转子的无接触运行模式使泵体内无磨损——这是实现无颗粒真空环境的唯一途径。
  • 超长的保养间隔 - 在洁净工艺领域可连续工作长达四年而无中断,确保正常运行时间最大化。
  • 可与罗茨泵配搭形成最佳组合,直接作为各个工业领域中前级油泵和真空泵系统的取代产品,如在真空镀膜技术中。
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