Multi-stage Roots Pumps - Pfeiffer Vacuum

工业型

ACP 120 和 ACG 600 的配件
基于多级罗茨泵的技术,ACG 600 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACG 600 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中,和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号。
  • 当需要更高的吸气能力时,ACG 600 G 泵组将干式泵 ACP 120 G 与 600 m3/h 的罗茨泵进行组合
  • 高抽速 560 m3/h
  • 气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
  • 用于大容积的版本可供选择
基于多级罗茨泵的技术,ACP 120 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACP 120 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中,和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号
  • 适用于一般工业和科研领域的干式真空泵
  • 最高抽速 110 m3/h
  • 气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
  • 用于大容积的版本可供选择

适合工业用途的干泵
基于我们在全球半导体领域中数以万计的工艺泵的安装和使用经验,如今我们的ACP 120 G 多级罗茨泵在一般工业和科研领域同样发挥着其独特的性能优势。尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中,和常规真空泵相比优势极其明显。

适用于高抽速应用的ACG 600 G 多次罗茨泵集成了ACP 120 G干泵和600 m3/h的罗茨泵。

优势

  • 性能卓越
  • 可靠性高
  • 维护简单

 

应用

  • 真空镀膜行业
  • 研发
  • 冷冻干燥

 

  • 由于其抽速高、基准压力低、循环作业耐受性强、能耗低,是范围在60〜100 立方米/小时等级的旋片泵的最佳取代品。
  • 转子的无接触运行模式使泵体内无磨损——这是实现无颗粒真空环境的唯一途径。
  • 超长的保养间隔 - 在洁净工艺领域可连续工作长达四年而无中断,确保正常运行时间最大化。
  • 可与罗茨泵配搭形成最佳组合,直接作为各个工业领域中前级油泵和真空泵系统的取代产品,如在真空镀膜技术中。
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