Multi-stage Roots Pumps - Pfeiffer Vacuum

工业型

ACP 120 和 ACG 600 的配件
基于多级罗茨泵的技术,ACG 600 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACG 600 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中,和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号。
  • 气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
  • 用于大容积的版本可供选择
  • 当需要更高的吸气能力时,ACG 600 G 泵组将干式泵 ACP 120 G 与 600 m3/h 的罗茨泵进行组合
  • 高抽速 560 m3/h
基于多级罗茨泵的技术,ACP 120 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACP 120 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中,和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号
  • 气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
  • 用于大容积的版本可供选择
  • 适用于一般工业和科研领域的干式真空泵
  • 最高抽速 110 m3/h

用于工业应用的干式泵

ACP 120 半导体流程泵在全球范围内有数万台的安装基数,在工业和研发应用以及颗粒或油污污染会带来问题的应用中均体现出多级罗茨泵的优势。

为了满足更高的泵速要求,ACG 600 G 泵组将 ACP 120 G 干式泵和 600 m3/h 的罗茨泵组合起来。

优势

  • 高性能
  • 高可靠性
  • 维护简单

应用

  • 涂层行业
  • 研发
  • 冷冻干燥
  • 抽速高、基数压力低、对循环运行和低功耗的耐受性高,是 60〜100 立方米/小时级旋片泵的最佳替代品。
  • 非接触式移动转子使泵体无磨损——这是创造无颗粒真空的唯一途径。
  • 超长的维修间隔 - 在轻型应用领域可超过四年而无中断,提供最大正常运行时间。
  • 与罗茨泵的最佳组合,作为许多工业系统里润滑前级泵和泵运系统的直接干置换,例如在涂层技术中。
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