多级罗茨泵

适用于各种应用的节能且经济高效的干泵

了解适用于高真空应用的可靠多级罗茨泵。它们非常适合清洁和干燥工艺，具有高抽速和低极限压力，非常适合半导体制造、真空镀膜和研发应用。

Multi Stage Roots Pumps For Harsh Chemical Applications

了解多级罗茨泵的优势

凭借无摩擦技术，多级罗茨泵属于干式正排量真空泵类别，是满足清洁真空要求的理想选择，可提供无颗粒和无碳氢化合物的环境。它们提供卓越的抽速、卓越的极限压力和出色的气体处理能力。无易损件确保了长期稳定性和可靠性。多级罗茨泵配备通用电源，符合 CE 标准、UL/CSA 认证、SEMI S2 认证，使这些泵适合多种应用。

选择合适的干泵

所需的多级罗茨泵的类型受其特定应用的影响。不同的应用需要不同的抽速、极限压力和气体处理能力。例如，在半导体制造中，负载锁定室和传输室至关重要，紧凑型集成泵因其快速抽空循环而成为首选。另一方面，表面分析仪和检漏仪可能需要具有特定气体端口选项的泵来满足其要求。此外，在粒子加速器中，具有抗辐射和其他特殊功能的泵是必不可少的。因此，了解每种应用的独特需求对于选择最合适的多级罗茨泵以确保最佳性能和效率至关重要。

洁净真空应用的理想解决方案

ACP 和 A 100 L 系列以及 TORRI BD 真空泵是专为需要高纯度和运行可靠性的洁净工艺而设计的先进解决方案。ACP 产品系列采用风冷设计，性能稳定且用途广泛，是替代涡旋泵和油密封真空泵的理想产品。而 A 100 L 和 A 200 L 则是紧凑型集成泵，非常适合在 load-lock 腔体和传送室中频繁快速抽真空。TORRI BD 真空泵是 load lock 腔体的另一紧凑选择，它们具有高能效、低极限压力以及一流的腔体抽真空时间。所有这些真空泵都具有高流量、低维护成本的特点，并且符合行业标准，是各种行业洁净真空工艺的理想选择。

用于清洁应用的多级罗茨泵的更多信息

无与伦比的可靠性：适用于恶劣化学工艺的干泵

当谈到处理最苛刻的化学环境时，普发真空的 A3 和 A4 系列是最佳选择。这些多级罗茨泵专为承受腐蚀性和侵蚀性化学品而设计，提供无与伦比的性能、效率和长期稳定性。凭借其坚固的设计和耐腐蚀材料，这些工艺泵在半导体蚀刻、化学气相沉积 (CVD) 和其他严酷的化学工艺等应用中表现出色。

适用于恶劣应用的流程泵

了解多级罗茨鼓风机的工作原理

多级罗茨泵采用独特的原理运行，可实现高效可靠的真空性能。这些泵由两个带叶片的互锁转子组成，它们以相反方向旋转但不接触。当转子旋转时，它们会形成不同体积的室，导致气体被捕获并从入口输送到出口。多级配置通过多级压缩气体来提高泵送效率，从而产生更高的压差，并提高整体性能。这些泵采用无摩擦设计，无需润滑剂和密封材料，从而确保无颗粒和无碳氢化合物的真空环境。

在此 3D 动画中体验普发真空多级罗茨泵的功能原理和设计。

适用于不同应用的多功能解决方案

多级罗茨泵广泛应用于各个行业，在各个领域发挥着至关重要的作用，包括半导体制造（其中对于负载锁和传输室至关重要）以及表面分析仪、检漏仪和颗粒物的生产加速器。此外，多级真空泵在涡轮泵站、实验室、灯具制造、天然气工业工艺、真空镀膜、低温泵再生、等离子清洁以及各种干燥和清洁应用中占有一席之地。它们的适应性和强大的性能使其在冷冻干燥、激光气体回收甚至高价值气体的管理中不可或缺。无论是在研发还是工业环境中，多级罗茨泵的多功能性确保它们成为实现最佳真空性能并满足不同领域和应用的特定要求的首选解决方案。

使用多级真空泵泵送各种化学品

在处理不同行业的各种化学品（包括腐蚀性和侵蚀性物质）时，多级罗茨泵具有卓越的多功能性。从酸和溶剂到气体和蒸汽，多级罗茨鼓风机可以以最高的可靠性处理多种化合物。 A3 和 A4 泵坚固的结构和材料确保耐化学侵蚀，即使在充满挑战的环境中也能提供长期的耐用性和一致的性能。

可持续解决方案

多级罗茨泵具有多种环境效益，使其成为各个行业的可持续选择。首先，这些泵的设计考虑了能源效率，有效降低了功耗并最大限度地减少了运行过程中的总体碳足迹。一些型号配备了变频器，允许操作员根据特定应用需求调整转速来优化能源使用，从而进一步节省能源。此外，其卓越的抽速和卓越的气体处理能力可实现高效的过程管理，从而减少材料浪费并降低能耗。此外，这些泵提供可靠和持久的性能，有助于可持续的操作实践，并减少与频繁更换泵相关的环境影响。所有这些功能使多级罗茨泵成为现代工业具有环保意识和负责任的选择。