工业型
ACP 120 和 ACG 600 的配件
ACG 600更多信息 简单信息
在多级罗茨活塞泵技术的基础之上，ACG 600 是制造无油真空泵方案这 20 多年来经验的结晶。ACG 600 具备洁净无油真空所需的全部优势，在这样的真空里，任何颗粒或油滴都会带来污染的问题。用于对> 1 m3的大室容积进行泵汲的特殊版本可供货。
- 当需要更高的吸气能力时，ACG 600 泵机组将干式泵 ACP 120 与 600 m3/h 的罗茨活塞泵进行组合
- 高吸气能力 560 m3/h
- 适于腐蚀性气体应用的标准版本或G版本
- 用于大容积的版本可供选择
ACP 120更多信息 简单信息
在多级罗茨活塞泵技术的基础之上，ACP 120 是制造无油真空泵方案这 20 多年来经验的结晶。ACP 120 具备洁净无油真空所需的全部优势，在这样的真空里，任何颗粒或油滴都会带来污染的问题。用于对> 1 m3的大室容积进行泵汲的特殊版本可供货。
- 工业用干式真空泵可用于许多研发 和工业应用
- 高吸气能力 110 m3/h
- 适于腐蚀性气体应用的标准版本或G版本
- 用于大容积的版本可供选择
适合工业用途的干泵
目前在世界各地的半导体工厂中，已安装了数以万计的2系列半导体工艺用泵，在工业和研发领域，ACP 120 同样发挥着多级罗茨泵的优势。该水冷真空泵可以作为洁净工艺的标准用泵，也可作为轻微腐蚀工艺或抽空凝结物的净化气体用泵。
优势
- 性能卓越
- 可靠性高
- 维护简单
应用
- 真空镀膜行业
- 研发
- 冷冻干燥
- 由于其抽速高、基准压力低、循环作业耐受性强、能耗低，是范围在60〜100 立方米/小时等级的旋片泵的最佳取代品。
- 转子的无接触运行模式使泵体内无磨损——这是实现无颗粒真空环境的唯一途径。
- 超长的保养间隔 - 在洁净工艺领域可连续工作长达四年而无中断，确保正常运行时间最大化。
- 可与罗茨泵配搭形成最佳组合，直接作为各个工业领域中前级油泵和真空泵系统的取代产品，如在真空镀膜技术中。