工业型
ACP 120 和 ACG 600 的配件
ACG 600 G更多信息 简单信息
基于多级罗茨泵的技术，ACG 600 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACG 600 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中，和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号。
- 气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
- 用于大容积的版本可供选择
- 当需要更高的吸气能力时，ACG 600 G 泵组将干式泵 ACP 120 G 与 600 m3/h 的罗茨泵进行组合
- 高抽速 560 m3/h
ACP 120 G更多信息 简单信息
基于多级罗茨泵的技术，ACP 120 G泵组是在干式真空领域20多年经验的结晶。ACP 120 G尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中，和常规真空泵相比优势极其明显。对于抽气体积大于用于对> 1 m3的大室容腔体我们提供专用的型号
- 气体吹扫功能应对轻微腐蚀工艺
- 用于大容积的版本可供选择
- 适用于一般工业和科研领域的干式真空泵
- 最高抽速 110 m3/h
适合工业用途的干泵
基于我们在全球半导体领域中数以万计的工艺泵的安装和使用经验，如今我们的ACP 120 G 多级罗茨泵在一般工业和科研领域同样发挥着其独特的性能优势。尤其是在应对轻微颗粒物或油污染的工艺中，和常规真空泵相比优势极其明显。
适用于高抽速应用的ACG 600 G 多次罗茨泵集成了ACP 120 G干泵和600 m3/h的罗茨泵。
优势
- 性能卓越
- 可靠性高
- 维护简单
应用
- 真空镀膜行业
- 研发
- 冷冻干燥
- 由于其抽速高、基准压力低、循环作业耐受性强、能耗低，是范围在60〜100 立方米/小时等级的旋片泵的最佳取代品。
- 转子的无接触运行模式使泵体内无磨损——这是实现无颗粒真空环境的唯一途径。
- 超长的保养间隔 - 在洁净工艺领域可连续工作长达四年而无中断，确保正常运行时间最大化。
- 可与罗茨泵配搭形成最佳组合，直接作为各个工业领域中前级油泵和真空泵系统的取代产品，如在真空镀膜技术中。