Multi-stage Roots Pumps - Pfeiffer Vacuum

工业型

ACP 120 和 ACG 600 的配件
ACG 600 G 基于多级罗茨技术,是 20 多年无油真空泵解决方案制造经验的结晶。当微粒或油污染成为问题时,ACG 600 G 会提供清洁和无油真空的所有优点。一个特定机型也可用于大腔室容积的抽气 > 1 m3
  • 如果需要更高的抽速,ACG 600 G 泵站会将 ACP 120 G 干式泵与可达到 600 m3/h 的罗茨真空泵结合使用。
  • 高抽速 560 m3/h
  • 配备用于轻微腐蚀性过程或抽吸可冷凝介质的冲洗气体连接
  • 用于大容积的版本可供选择
ACP 120 G 基于多级罗茨技术,是 20 多年无油真空泵解决方案制造经验的结晶。当微粒或油污染成为问题时,ACP 120 G 会提供清洁和无油真空的所有优点。一个特定机型也可用于大腔室容积的抽气 > 1 m3
  • 用于众多研发和工业应用的工业干式真空泵
  • 110 m3/h 的高抽气速率
  • 配备用于轻微腐蚀性过程或抽吸可冷凝介质的冲洗气体连接
  • 用于大容量的可选机型

用于工业应用的干式泵

ACP 120 半导体流程泵在全球范围内有数万台的安装基数,在工业和研发应用以及颗粒或油污污染会带来问题的应用中均体现出多级罗茨泵的优势。

为了满足更高的泵速要求,ACG 600 G 泵组将 ACP 120 G 干式泵和 600 m3/h 的罗茨泵组合起来。

优势

  • 高性能
  • 高可靠性
  • 维护简单

应用

  • 涂层行业
  • 研发
  • 冷冻干燥
  • 抽速高、基数压力低、对循环运行和低功耗的耐受性高,是 60〜100 立方米/小时级旋片泵的最佳替代品。
  • 非接触式移动转子使泵体无磨损——这是创造无颗粒真空的唯一途径。
  • 超长的维修间隔 - 在轻型应用领域可超过四年而无中断,提供最大正常运行时间。
  • 与罗茨泵的最佳组合,作为许多工业系统里润滑前级泵和泵运系统的直接干置换,例如在涂层技术中。
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