干式罗茨泵站

干式罗茨泵站

CombiLine™ WH

在其中需要高抽吸能力的应用中,HeptaDry- & UniDry 系列的泵可以与 OktaLine 系列的罗茨泵组合,模块化设计和无数选项。
  • 无油泵机组由一个 OktaLine 系列罗茨活塞泵和一个 UniDry 或 HeptaDry 泵组成
  • 高吸气能力适用于 240 至 1800 m3/h 的快速抽真空时间
  • 更高吸气能力备询
在要求高吸气能力的应用中,可将 ACP 系列泵与常规罗茨活塞泵进行组合。
  • 无油泵机组由一个 300 m3/h 罗茨活塞泵和一个 ACP 泵组成

普发真空提供干式罗茨泵站,将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
 

干式罗茨泵站是面向高要求工艺(例如半导体行业)的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺,例如装载互锁应用,或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术最大吞吐量和显示面板制造,我们都可以提供解决方案。

优势

  • 干燥无油的吸入室
  • 这些解决方案提供了最优泵容量和高可靠性。

应用

  • 镀膜
  • 冶金
  • 真空干燥
  • 脱气
  • 光伏
  • 研发
  • 化学工业
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