干式罗茨泵站

普发真空提供干式罗茨泵站，将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
 

干式罗茨泵站是面向高要求工艺（例如半导体行业）的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺，例如装载互锁应用，或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术最大吞吐量和显示面板制造，我们都可以提供解决方案。