检验与计量

随着步骤数量的增加,半导体器件制造日益复杂,晶圆检查和计量也愈加关键。除了针对传统检验和计量工具的真空解决方案外,我们还提供用于 FOUP(前开式晶圆传送盒)和洁净室环境分析的创新型管线内空气分子污染物 (AMC) 系统。使用我们的 AMC 系统,可以在整个生产周期中对晶圆进行分析,从而有助于提高生产良率。

应用案例

您如何评价此页?
 

推荐此页!
社交网络

为了令您更好的体验我们的网站,我们使用cookies技术。 更多信息