洁净室内的 AMC 监测

空气分子污染物 (AMC) 是晶圆缺陷的主要来源,会导致半导体晶圆厂的良率损失。从操作员到工艺流程或外部环境,洁净室内的 AMC 可能由多种因素产生。随着芯片节点尺寸的不断缩小,对洁净室环境的监测成为大多数领先半导体晶圆厂的主要关注点。此外,AMC 监测还要求实时性和极高的灵敏度,以防止晶圆缺陷。普发真空提供各种实时洁净室 AMC 监测解决方案,灵敏度范围涵盖 ppb(十亿分之一)至 ppt(万亿分之一),专为领先的半导体晶圆厂设计。

应用要求

  • 无占用洁净室面积
  • 对晶圆厂实时监测
  • 监测晶圆厂多个区域
  • 监测无机/有机化合物
  • 监测低化合物浓度 (100 ppt)
  • 监测 EFEM(设备前端模块)

主要产品

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