CD SEM

随着工艺步骤的增加以及器件关键尺寸的减小,半导体器件制造已日趋复杂,而晶圆的检验与计量也变得愈加紧要。

应用要求

  • 初级和次级干式真空
  • 低噪声、低振动水平
  • 高性能实现高吞吐量
  • 低功耗助于降低运行成本

它是如何工作的?
CD SEM 用于执行纳米级范围内的尺寸测量以及材料种类分析。 在这种类型的装置中,电子束对圆晶进行光栅式扫描。但是,首先需要在真空柱的顶端通过电子源产生电子,然后由带正电的阳极将其加速并吸引。整个电子柱必须处于真空条件下。如同电子显微镜的所有组件一样,电子源被密封在一个特殊的腔室内,通过这种方式保持真空并防止其受到污染、振动或噪音。真空在保护电子源不受污染的同时,也使用户获得高分辨率图像成为可能。此外,高真空还可以提高真空柱中的探测器对电子的收集效率。

真空要求
CD SEM 在低真空下进行,压力范围为 10-5 至 10-7 mbar。出于对较低振动水平的要求,通常采用磁悬浮涡轮泵技术。初级真空需要使用低抽吸能力的干式泵作为涡轮泵的前级泵。

产品系列
我们的 HiPace Plus 涡轮泵系列是适用于电子显微镜的最佳解决方案。HiPace Plus 的振动水平显著低于标准涡轮泵。针对初级泵,我们提供了多种干式解决方案:MVP 隔膜泵系列、ACP 多级罗茨泵系列以及我们最新研发而成的 HiScroll 系列。我们还可以为整体真空解决方案提供各种规格的真空计。

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