设施与维护

半导体工具及其相关设施上出现的任何一处泄漏都可能决定性地影响产量和良率。其后果包括产量下降、达不到处理规格或严重安全风险。因此,在洁净室之内或在任何维护干预之后,泄漏检测是为调试任何新工具所需的关键和强制性步骤。在地下室,还须定期更换前级泵和干式泵以进行清洁或维修。我们提供全面的泄漏检测解决方案,可确保生产设施从加工室到排气系统的真空完整性。我们的目标是:使您的生产良率最大化。

应用案例

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