泄漏检测

半导体工具及其相关设施上出现的任何一处泄漏都可能决定性地影响产量。其后果包括产量下降、达不到处理规格或严重安全风险。因此,在洁净室之内或在任何维护干预之后,泄漏检测是为调试任何新工具所需的关键和强制性步骤。在地下室,还须定期更换前级泵和干式泵以进行清洁或维修。我们提供全面的示踪气体泄漏检测解决方案,可确保生产设施从加工室到排气系统的真空完整性。我们的目标是:使您的生产良率最大化。

应用要求

  • 高灵敏度,最大限度提升制造良率
  • 高性能、快速运行就绪缩短停机时间。
  • 坚固、用户友好,易于连续使用。

它是如何工作的?
当涉及到密封性时,半导体晶圆厂的普通设备可以分为两大类:

- 在真空环境下工作的设备:其中包括大多数制造工具。
为了确保最终产品的质量,真空设施必须避免任何污染。因此,在安装任何工具或者维护腔室之后,都需要使用真空泄漏检测方法来保证真空完整性。示踪气体检漏仪在真空条件下直接连接到设备,通过将示踪气体喷洒到设备的可能泄漏源周围,即可检测到任何存在的泄漏。为使此过程更加简便,缩短反应时间和提高检测仪移动性是为关键。

- 在压力下工作的设备,例如气体管线和机柜。
由于过程气体对自然环境的潜在危害,此类管线在投入运行前需要通过测试。在此类情况下,将使用吸枪泄漏检测法:要测试的管线在压力下充满示踪气体。检测仪吸枪探头可以探测可能逸出的示踪气体。检测器的紧凑性和多功能性是此应用所必需的。

产品组合
当复杂系统或大容量系统(例如处理室或前级管线)上发生泄漏时,需要高性能检漏仪以加快泄漏检测过程,从而减少设备停机时间。凭借其出色的性能,ASM 390 和 ASM 392 是应对密封性挑战、确保工艺过程质量和优化 MTBF 的理想选择。此外,这些检测仪还通过了 Semi S2 认证,可满足半导体市场的所有要求。

对于过压系统或难以进入测试区域的情况,紧凑便携式检漏仪是最合适的解决方案。ASM 310 可提供最大的灵活性,同时又不影响性能和灵敏度,是满足相对维护要求的最佳选择。

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