Leise
Niedriges Geräusch- und Vibrationsniveau, perfekt geeignet für vibrationsempfindliche Anwendungen in Prozessen der Halbleiter-Produktion und analytischen Instrumenten
Flexibel
Kompatibel mit einer Vielzahl von Vorpumpen, MT-Version mit integriertem Heizungssystem für anspruchsvolle chemische Bedingungen, frequenzgeregelte Gleichstrommotoren (DC)
Kompakt
Geringer Platzbedarf, integrierter Antrieb, Installation in jeder Ausrichtung
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Photonik-Forschung
Krankenhäuser und medizinische Einrichtungen
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Medizinischer Beschleuniger
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Diagnostische Bildgebung
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Oxid-Ätzen
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ALD
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PECVD
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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Poly-Silizium-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation