저소음
낮은 소음 및 진동 레벨, 반도체 제조 공정 및 분석 기기의 진동에 민감한 응용 분야에 완벽히 적합
유연성
다양한 보조 펌프와 호환 가능, 까다로운 화학 조건을 위한 가열 시스템이 통합된 MT 버전, 속도 제어 직류(DC) 모터
컴팩트
작은 설치 공간, 통합형 구동 장치, 모든 방향에 설치 가능
기술 사양
시장 & 어플리케이션
연구 및 R&D
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광자 조사
병원 및 의료 시설
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의료용 가속기
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진단 이미징
반도체 응용 분야
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PVD
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검사 및 계측학
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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미세가공기술
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산화물 에칭
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ALD
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PECVD
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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Si Poly 에칭
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로드 잠금 및 이동
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라이트 메탈 증착
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이온 이식