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COBRA DS 1200/1800 A/A X

Trockene Schrauben-Vakuumpumpen

Oder rufen Sie uns direkt an: +49 (0)6441 802-1222

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Solar-, Flachbildschirm- und Halbleiteranwendungen sowie für beanspruchende Prozesse mit hohen Gastemperaturen, wie Ätzen und chemische Gasphasenabscheidung, hervorragende Partikelverträglichkeit, tantalbeschichtete Schraube für strapazierende Anwendungen

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, hoher Wasserstoffdurchsatz, geringer Energieverbrauch, variable Temperaturüberwachung

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen, vibrationsarm

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Halbleiteranwendungen
  • Metall- & High-k-Ätzen
  • Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
  • ALD
  • PECVD
  • Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
  • Glühen
  • Poly-Silizium-Ätzen
Solarindustrie
  • Kristallziehen