COBRA DS 1200/1800 A/A X
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen
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Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Solar-, Flachbildschirm- und Halbleiteranwendungen sowie für beanspruchende Prozesse mit hohen Gastemperaturen, wie Ätzen und chemische Gasphasenabscheidung, hervorragende Partikelverträglichkeit, tantalbeschichtete Schraube für strapazierende Anwendungen
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, hoher Wasserstoffdurchsatz, geringer Energieverbrauch, variable Temperaturüberwachung
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen, vibrationsarm
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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ALD
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PECVD
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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Glühen
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Poly-Silizium-Ätzen
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Kristallziehen