性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成的罗茨泵，非常适用于太阳能、平板显示器和半导体应用，以及需要高温气体的严苛工艺，如：刻蚀和化学气相沉积、出色的粉末处理能力配合 tantal 涂层的螺杆，使其更适用于众多严苛应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高氢气吞吐量，低能耗，变温控制
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上，低振动水平
技术规格
市场和应用
平板显示器生产
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物理气相沉积（PVD）
半导体应用
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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ALD
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PECVD
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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退火
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Si Poly etch
太阳能发电行业
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硅锭拉拔