Einfache Wartung
Wartungsrelevanter Zugang nur an Vorderseite, Demontage in weniger als einer Minute, niedrige Gesamtbetriebskosten dank weniger Verschleißteilen
Flexibel
Anpassbares Design für spezifische Prozessanforderungen
Zuverlässig
Die am weitesten verbreitete Abgasreinigungstechnologie mit einem hocheffizienten Brenngasbrenner für eine Vielzahl von Anwendungen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Laborvakuum
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Photonik-Forschung
Flachbildschirmproduktion
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
Metallurgie
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Vakuumsintern
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Vakuumlöten
Pharmazeutik
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Laborvakuum
Halbleiteranwendungen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Oxid-Ätzen
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Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz
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ALD
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PECVD
Solarindustrie
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Zellproduktion
Zubehör
- Heizmantel für Abgaseintritt
- N₂-Heizung für Abgaseintritt
- Mechanische Brennerreinigungsvorrichtung
- Lüftersatz für Gasaustritt