便于保养
所有保养相关访问点均位于设备正面，拆卸时间少于一分钟，磨损部件少，总拥有成本低
灵活
按特定工艺要求定制设计
可靠
应用最广泛的尾气处理技术，配备高效燃气燃烧器，适用于众多应用
技术规格
市场和应用
分析及实验室
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实验室真空
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光子学研究
平板显示器生产
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
冶金
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真空烧结
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真空铜焊 / 钎焊
制药行业
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实验室真空
半导体应用
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LPCVD / 扩散
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氧化物蚀刻
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高流量应用
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ALD
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PECVD
太阳能发电行业
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电池制造
配件
- 废气入口加热套
- 废气入口氮气加热
- 机械式燃烧器清洁装置
- 排气风扇套件