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Global

CT-D 30-120

Trockenbettbehandlung

Oder rufen Sie uns direkt an: +49 (0)6441 802-1222

Sicher

Permanente Chemisorption in Kombination mit patentiertem Absorberdesign

Effizient

Geringer Medienverbrauch, optimierte Lebensdauer des Granulats

Wartungsfrei

Äußerst geringer Wartungsbedarf, da ohne bewegliche Teile

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Analytik und F&E
  • Vakuumzentralanlagen
  • Laborvakuum
  • Photonik-Forschung
Pharmazeutik
  • Laborvakuum
Halbleiteranwendungen
  • PVD
  • Metall- & High-k-Ätzen
  • Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
  • Oxid-Ätzen
  • Strippen/Veraschung
  • ALD
  • PECVD
  • Poly-Silizium-Ätzen
  • Ionenimplantation

Zubehör

  • Elektrochemischer Sensor
  • Ersatzkanister
  • Ersatz-Bypass-Kanister