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Global

CT-D 30-120

Trockenbettbehandlung

Oder rufen Sie uns direkt an: +49 6441 802-0

Sicher

Permanente Chemisorption in Kombination mit patentiertem Absorberdesign

Effizient

Geringer Medienverbrauch, optimierte Lebensdauer des Granulats

Wartungsfrei

Äußerst geringer Wartungsbedarf, da ohne bewegliche Teile

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Analytik und F&E
  • Vakuumzentralanlagen
  • Laborvakuum
  • Photonik-Forschung
Pharmazeutik
  • Laborvakuum
Halbleiteranwendungen
  • PVD
  • Metall- & High-k-Ätzen
  • Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
  • Oxid-Ätzen
  • Strippen/Veraschung
  • ALD
  • PECVD
  • Poly-Silizium-Ätzen
  • Ionenimplantation

Zubehör

  • Elektrochemischer Sensor
  • Ersatzkanister
  • Ersatz-Bypass-Kanister