安全
永久化学吸附与专利吸收器设计相结合
高效
耗材消耗低，颗粒使用寿命优化
几乎免维护
由于无运动部件，维护要求极少
技术规格
市场和应用
分析及实验室
-
中央真空
-
实验室真空
-
光子学研究
制药行业
-
实验室真空
半导体应用
-
PVD
-
金属和高 K 蚀刻
-
LPCVD / 扩散
-
氧化物蚀刻
-
剥离 / 灰化
-
ALD
-
PECVD
-
Si Poly etch
-
离子注入
配件
- 电化学传感器
- 备用滤罐
- 备用旁路滤罐