Zuverlässig
Kohlenwasserstofffrei, automatische Sensorkalibrierung während des Betriebs
Leise
Niedrige Schalldruckpegel und Vibrationsniveaus
Wartungsfrei
Elektromagnetische Aufhängung zum Schutz des Rotors vor vorzeitigem Verschleiß, kontinuierlicher Ausgleich der Rotorunwucht
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Laborvakuum
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Photonik-Forschung
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
Pharmazeutik
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Laborvakuum
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Poly-Silizium-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
Zubehör
- Elektrischer Adapter
- Netzkabel
- Anschlusskabel
- Verschiedene Feldbussysteme
- Netzteil und Anzeigeeinheit
- Drucksensor
- Montagesatz
- Sicherheitsventil
- Zubehör zum Fluten
- Stromausfallfluter