신뢰성
작동 중 탄화수소가 없는 자동 센서 보정
저소음
저소음 및 진동 레벨
유지보수 불필요
조기 마모로부터 로터를 보호하는 전자기 서스펜션, 지속적인 로터 불균형 보상
기술 사양
시장 & 어플리케이션
연구 및 R&D
-
실험실 진공
-
광자 조사
-
우주 연구조사
-
초고진공
제약 산업
-
실험실 진공
반도체 응용 분야
-
PVD
-
검사 및 계측학
-
금속 및 높은 K 에칭
-
LPCVD / 확산
-
미세가공기술
-
산화물 에칭
-
스트리핑 / 애싱
-
ALD
-
PECVD
-
Si Poly 에칭
-
로드 잠금 및 이동
-
라이트 메탈 증착
-
이온 이식
액세서리
- 전기 어댑터
- 전원 케이블
- 연결 케이블
- 다양한 필드버스 시스템
- 전원 공급 장치 키트 및 디스플레이 장치
- 압력 센서
- 장착 키트
- 안전밸브
- 배기 액세서리
- 출력 장애 배기 장치