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HiPace 80 Neo

Turbomolekular-Vakuumpumpen

Oder rufen Sie uns direkt an: +49 (0)6441 802-1222

Robust

Integriertes Rotor-Temperaturmesssystem, zuverlässige Leistung über den gesamten thermischen Betriebsbereich

Leise

Niedrige Schalldruckpegel und Vibrationsniveaus dank patentierter Laser-Balancing-Technologie, perfekt geeignet für vibrationsempfindliche Anwendungen

Flexibel

Einfache Integration auch in kleine Analysesysteme, leicht und tragbar

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Analytik und F&E
  • Laborvakuum
  • Kryotechnik
  • Plasmaphysik
  • Hochenergiephysik
  • Massenspektrometrie
  • Photonik-Forschung
  • Ultrahochvakuum
Automobilindustrie und Transport
  • Lecksuche und EoL-Prüfung
  • Weltraumforschung
  • 3D-Druck
Stromerzeugung
  • Grüne Energieerzeugung
Krankenhäuser und medizinische Einrichtungen
  • Massenspektrometer
Wasserstoff
  • Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Produktion von Lithium-Ionen-Batterien
  • Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Metallurgie
  • 3D-Druck
Pharmazeutik
  • Laborvakuum
Kühlung
  • Lecksuche und EoL-Prüfung
Wissenschaftliche Instrumente
  • Massenspektrometrie
  • Oberflächenanalyse
  • Elektronenmikroskopie
Halbleiteranwendungen
  • PVD
  • Inspektion & Messtechnik
  • Metall- & High-k-Ätzen
  • Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
  • Lithografie
  • Oxid-Ätzen
  • Strippen/Veraschung
  • ALD
  • PECVD
  • Poly-Silizium-Ätzen
  • Schleusen & Transfer
  • Lichtinduzierte Abscheidung
  • Ionenimplantation
Technische Gase
  • Flaschenabfüllung
Dünnfilmbeschichtung
  • Dekorative Beschichtung
  • Laborbeschichtung
  • Verschleißschutzbeschichtung

Zubehör

  • Elektrischer Adapter
  • Netzkabel
  • Anschlusskabel
  • CIP-Adapter
  • Netzteil und Anzeigeeinheit
  • Drucksensor
  • Montagesatz
  • Sicherheitsventil
  • Zubehör zum Fluten
  • Stromausfallfluter
  • Schwingungsdämpfer