坚固耐用
集成转子测温系统，在整个热运行范围内均性能可靠
静音
得益于专利激光平衡技术，实现低噪音和振动水平，非常适合对振动敏感的应用
灵活
易于集成到小型分析系统中，重量轻，便于携带
技术规格
市场和应用
分析及实验室
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实验室真空
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低温工程
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等离子体物理
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高能物理
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质谱分析
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光子学研究
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超高真空
车辆及运输
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泄漏检测和 EoL 测试
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太空探索
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3D 打印
发电
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绿色能源生产
医院和医疗设施
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质谱仪
氢气
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泄漏检测和 EoL 测试（主控）
锂电池生产
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泄漏检测和 EoL 测试（主控）
冶金
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3D 打印
制药行业
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实验室真空
制冷
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泄漏检测和 EoL 测试
科学仪器
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质谱分析
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表面分析
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电子显微镜
半导体应用
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PVD
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检验与计量
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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光刻技术
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氧化物蚀刻
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剥离 / 灰化
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ALD
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PECVD
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Si Poly etch
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Load lock 和 传输
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轻沉积
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离子注入
技术气体
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装瓶
薄膜镀层
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装饰涂层
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实验室涂层
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耐磨损涂层