Restgasanalysesysteme

Der HiCube Neo RGA kann im Druckbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum betrieben werden. Er ist mit einem integrierten Absperrventil zur präzisen Einstellung des Ansaugdrucks ausgestattet. Zusätzlich wird das System über einen DigiLine Full-Range-Sender abgesichert, der das Massenspektrometer durch die kontinuierliche Überwachung des Totaldrucks schützt. Wenn der Druck sichere Werte überschreitet, veranlasst der Transmitter automatisch die Abschaltung des Filaments im Massenspektrometer, um eine Beschädigung zu verhindern. Dieser Mechanismus schützt das System vor Bedienungsfehlern und macht einen kostspieligen Austausch des Filaments überflüssig, wodurch langfristig Wartungskosten gespart werden.

Der HiCube Neo RGA bietet sowohl digitale als auch analoge Ein- und Ausgänge, sodass auch externe Daten wie Druck oder Gasdurchfluss erfasst werden können. Diese Daten können dann an externe Steuereinheiten übertragen werden, was eine umfassende Prozessüberwachung ermöglicht.

Der integrierte HiCube Neo lässt sich intuitiv über sein Touch-Display steuern. Dort werden nicht nur Messwerte, sondern auch Signale von angeschlossenen externen Komponenten wie Vakuummessgeräten anzeigt. So haben Sie die volle Kontrolle über Ihre Analyse. Die PV MassSpec Software ermöglicht zudem einen einfachen und schnellen Zugriff auf Ihre Daten.

Der HiCube Neo RGA kann an Ihre spezifischen Prozesse angepasst werden. Beispielsweise kann der Rezipient – die Kammer, in der das Vakuum erzeugt wird – mit einem Heizgerät ausgestattet werden. Dieses lässt eventuell an den Kammerwänden adsorbierte Restgase verdampfen. Während des Betriebs können solche eingeschlossenen Gase nach und nach freigesetzt werden und so die Messungen durch unerwünschte Hintergrundsignale stören. Durch Erhitzen der Kammer werden diese Restgase desorbiert und evakuiert, wodurch Verunreinigungen reduziert und die Genauigkeit Ihrer Analyse verbessert werden. Für ein flexibleres Probenhandling kann das System außerdem mit zusätzlichen manuellen Saugventilen ausgestattet werden. Darüber hinaus lässt sich der HiCube Neo RGA als mobile Lösung auf einem Wagen montieren, sodass er einfach transportiert und an verschiedenen Stellen eingesetzt werden kann.

Die Wahl des Quadrupol-Massenspektrometers (PrismaPro oder HiQuad Neo) und die Festlegung der Kammeranzahl haben einen erheblichen Einfluss auf die erreichbare Nachweisgrenze. Im Standardsystem gibt es zwei Kammern: In der einen befindet sich der Prüfling, in der anderen das Spektrometer. Bei Bedarf kann diese Struktur um eine dritte Kammer, die Schleusenkammer, ergänzt werden. Dadurch werden Verunreinigungen der Messkammer aus der Umgebung vermieden und Untergrundsignale deutlich reduziert. Durch Ausheizen wird das System optimal konditioniert, was die Messfähigkeit weiter erhöht.

Im Bereich kundenspezifischer Systeme decken wir mit unserem Angebot weit mehr als die Restgasanalyse ab. Unser über viele Jahre erworbenes Wissen zu den Anforderungen der Halbleiter-, Pharma-, Metallurgie- und Zukunftsmärkte fließt in die Entwicklung hochmoderner Systeme ein, mit deren Hilfe Sie sich in Ihrer Branche behaupten können. So haben wir zum Beispiel Kontaminationsmanagementsysteme entwickelt, die darauf abzielen, Verunreinigungen zu ermitteln und zu minimieren, um die Prozesse jeder Produktionsphase zu optimieren. Für höhere Erträge durch verbesserte Qualität und kürzere Zykluszeiten.

Neben autarken Einheiten bieten wir auch modulare Lösungen, die Sie in Ihr System integrieren können. Dazu gehört beispielsweise unser Leckageprüfmodul (kurz LTM), das Sie in Ihre Serienproduktionslinie für integrieren können. Für die Vorserienproduktion ist es auch als Einzelprüfstand für manuelle Prüfungen erhältlich. Die kundenspezifisch konfigurierbaren Module decken das gesamte Spektrum an Prüfmethoden und -parametern ab und werden von uns teilmontiert. Mit unserer Erfahrung in der mechanischen und Software-Integration unterstützen wir unsere Kunden bei der Implementierung ihrer Lösung.