- Effiziente und kostengünstige Behandlung von HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 und NH3 sowie anderen sauren und alkalischen Abgasen
- Erhöhung der Verfügbarkeit durch mechanische Einlassreinigung, N2-Venturi-Spülung und beheizte Abgaseinlässe für WF6, BCl3, AlCl3 und NH4Cl möglich
Nasswäscher zur Abgasbehandlung
Bei der Nasswäsche werden wasserlösliche Schadstoffe im Abgas ausgewaschen und in die Flüssigphase aufgenommen. Unsere Produktlinie hält das passende Produkt für jedes System und jede Anwendung parat.
Vorteile
Hohe Effizienz mit zwei Nassstufen
Wirksame Abscheidung wasserlöslicher Gase und Partikel
Interne Neutralisation zur Minimierung des Frischwasserverbrauchs
Entdecken Sie unsere Produktlinie
CT-W Nasswäscher (Point-of-Use)
Geeignet für die Behandlung von Abgasen aus zahlreichen Anwendungen, einschließlich Ätz- und Epitaxie-Prozessen
Vorteile
- Effiziente Gas- und Partikelabscheidung im System
- Niedrige Betriebskosten durch minimalen Frischwasserverbrauch
- > 99 % Verfügbarkeit bei schneller und einfacher Wartung
Ausrüstung
- Betrieb sowohl mit sauren als auch alkalischen Neutralisationsmitteln möglich
- Erhältlich in explosionsgeschützter Ausführung für hohen H2-Abgas-Durchfluss
- Kundenspezifische Backup-Konfigurationen
Branchen
- Halbleiter
- Photovoltaik
- LED
- Universitäten und Forschungseinrichtungen
- Chemische Industrie
- Industriegashersteller
- Und viele mehr
CT-W zentraler Nasswäscher (End-of-Pipe)
Vorteile
- Anpassbarer zentraler Nasswäscher für die Gasbehandlung mit hohem Volumenstrom
- Sehr flexibel und an Ihre Anforderungen anpassbar
Ausrüstung
- Betrieb sowohl mit sauren als auch alkalischen Neutralisationsmitteln möglich
- Individuelle Konfiguration der Ausrüstung je nach Volumenstrom und Gasart
Branchen
- Halbleiter
- Photovoltaik
- LED
- Universitäten und Forschungseinrichtungen
- Chemische Industrie
- Industriegashersteller
- Und viele mehr