Robust
Aufnahme wasserlöslicher Gase und Partikel
Einfache Wartung
Schnelle und einfache Wartung, wartungsrelevanter Zugang nur an der Vorderseite
Effizient
Niedrige Betriebskosten dank minimalem Frischwasserverbrauch, bis zu 99 % Verfügbarkeit
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Metallurgie
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Vakuumsintern
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Vakuumlöten
Halbleiteranwendungen
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Metall- & High-k-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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Poly-Silizium-Ätzen
Solarindustrie
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Zellproduktion
Zubehör
- Heizmantel für Abgaseintritt
- N₂-Heizung für Abgaseintritt
- Einlassreinigungsvorrichtung
- Lüftersatz für Gasaustritt