지능형
공정 요구 사항에 적합한 최첨단 통신 프로토콜
컴팩트
유입구 위치 조절이 가능하여 공구 위 또는 바닥 아래 공간에 쉽게 통합 가능
고성능
낮은 최대 진공도, 높은 처리량
기술 사양
시장 & 어플리케이션
연구 및 R&D
-
광자 조사
자동차 및 운송
-
누출 감지 및 EoL 검사
전력 생산용
-
친환경 에너지 생산
Hydrogen
-
누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
리튬 이온 배터리 생산
-
누출 감지 및 EoL 검사(마스터)
냉각 장치
-
누출 감지 및 EoL 검사
반도체 응용 분야
-
검사 및 계측학
-
미세가공기술
-
로드 잠금 및 이동