智能
采用先进的通信协议，适应工艺需求
结构紧凑
进气口位置可调，易于集成到工具或底板区域
性能卓越
极限压力低，流量高
技术规格
市场和应用
分析及实验室
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光子学研究
车辆及运输
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泄漏检测和 EoL 测试
发电
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绿色能源生产
氢气
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泄漏检测和 EoL 测试（主控）
锂电池生产
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泄漏检测和 EoL 测试（主控）
制冷
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泄漏检测和 EoL 测试
半导体应用
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检验与计量
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光刻技术
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Load lock 和 传输